Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293607040 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
Verkauft
ID: 293607040
Wafergröße: 6"
Resistivity mapping system, 6" Resistivity probe: Sensing signal transmission and control system Wafer diameter, 4"-8" Measurement range: 5 m Ohm/sq to 5 M Ohm/sq Absolute accuracy: ±1% (Standard silicon wafer, 23°C) Measurement repeatability: <0.2% Measurement time: ≤ 60 Seconds (49-Point test, manual loading, single wafer, temperature compensation) Controller: Computer SECS Communication interface Inspection table stage: X-Y Direction: >200 mm Z Axis control Servo motor drive Transmission / Transfer: Fully automatic cassette to cassette Robot Alignment.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 ist eine vollautomatische, Halbleiter-Wafer-Test-, Mess- und Messtechnik-Plattform, die auf fortschrittliche Verpackungen, MEMS und andere hochleistungsfähige, komplexe Strukturen zugeschnitten ist. Die KLA RS55 wurde von Grund auf für eine Vielzahl von Test- und Messanwendungen entwickelt und bietet branchenführende Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Verfügbarkeit. Schnell und präzise, TENCOR RS 55 ist in der Lage, eine breite Palette von Funktionen zu messen, einschließlich Linienbreiten, Leitergrößen und Durchsilizium-Vias (TSVs). Darüber hinaus ist die Plattform in der Lage, eine Vielzahl von Paketen zu messen, darunter Chip Scale Packages (CSPs), WLCSPs (Wafer Level Chip Scale Packages) und Flip Chips, sowie eine Vielzahl von ICs und Leiterplatten. TENCOR RS55 bietet verschiedene bildgebende Optionen, wie reflektierendes, Hellfeld und Dunkelfeld, die 3D-Messtechnik-Bildgebung ermöglichen. Darüber hinaus vereinfacht und beschleunigt die erweiterte Benutzeroberfläche und die intuitive Messsoftware die Datenerfassung, -analyse und -berichterstattung. Für eine verbesserte Genauigkeit verfügt KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 auch über ein integriertes digitales Bildkorrelationssystem (IDIC) für die Stempelanalyse sowie über proprietäre Coldfield™ und Brightfield™ Bildgebungssysteme für eine unübertroffene Leistung mit geringem Licht und verbesserter Bildqualität. Darüber hinaus verfügt TENCOR RS-55 über ein erweitertes Tiefenschärfemodul für Hochleistungs-Anwendungen in der statischen Messtechnik. Für fortschrittliche messtechnische Anwendungen umfasst KLA RS 55 ein integriertes Interferometersystem mit automatisierter Ausrichtung und Stabilität. Durch das leistungsstarke PROFINET/NET-System und APIs können RS55 an verschiedene externe Geräte angeschlossen und komplexe Messungen vor Ort durchgeführt werden. Mit ihren vier integrierten Zwei-Achsen-Stufen ermöglicht die Plattform eine automatisierte Komponentenplatzierung, Elementausrichtung und Wafer-Mapping. RS-55 verfügt über sechs verschiedene Systeme, die jeweils den höchsten Qualitäts- und Präzisionsstandards entsprechen und eine breite Palette an Auflösungs- und Geschwindigkeitsfunktionen bieten. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 ist ideal für eine Vielzahl von Prozessschritten, so dass Kunden den Durchsatz und die Skalierbarkeit maximieren und gleichzeitig Ertragsverluste minimieren können.
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