Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293747952 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 ist eine Präzisionsmesstechnik für die Waferinspektion und Messtechnik. Das System kombiniert eine zweiachsige Stufe, eine fortschrittliche Abbildungsoptik, eine softwaregesteuerte Bewegungssteuerung und eine Vielzahl von Sensoren und Messgeräten, die eine vollständige Abdeckung und Charakterisierung der Oberflächentopologie und der Fehlercharakterisierung ermöglichen. Die Bühne ist in der Lage, X-Y-Bewegungen von bis zu 375mm mit der Möglichkeit, eine Z-Achsen-Scan-Fähigkeit hinzuzufügen, so dass der Wafer in 3 Achsen bewegt werden kann. Die Bühne verfügt auch über eine schwingungsarme Option. Die optische Bildgebung erfolgt durch eine Kombination aus Laser Confocal Profilometry (LCP), Visible-Light Reflective (VLR) Imaging und Scanning White Light Interferometry (SWLI), die vollflächige Bildgebung und vollständige Fehlerabdeckung und Charakterisierung ermöglicht. Angetrieben wird die Motion Control Plattform von einem Hochleistungs-Motion Controller, der auf der Siemens S7 SPS Plattform läuft. Dieser Bewegungsregler ist in der Lage, je nach Anwendungsfall sowohl Open- als auch Closed-Loop-Steuerung durchzuführen. Das Gerät verfügt über eine integrierte optische Steuerung, die eine hochpräzise Steuerung der Bühnenbewegung über den gesamten Abtastbereich ermöglicht. Die Bewegungssteuerung ist mit einer Vielzahl von Sensoren integriert, darunter ein kapazitiver Berührungssensor, Laserscanning und Röntgenmikroskopie zur Fehleranalyse. Die Maschine wird von der KLA-Analyse- und Messtechnik-Software angetrieben, die Analyse- und Berichtsfunktionen wie vollständige Gerätecharakterisierung, Fehleranalyse und Bildanalyse über die gesamte Waferoberfläche bereitstellt. Die Software umfasst auch umfassende statistische Methoden und Algorithmen, die ein Echtzeit-Feedback zur Prozessoptimierung und Fehleranalyse ermöglichen. KLA RS55 ist ein vielseitiges, hochintegriertes und zuverlässiges Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug. Die Kombination aus fortschrittlicher Bildverarbeitungsoptik, Bewegungssteuerung und Software-Steuerung bietet eine vollständige Abdeckung und Charakterisierung der Oberflächentopologie und der Defektcharakterisierung, wodurch Benutzer hochgenaue Ergebnisse erzielen können.