Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293778052 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 ist eine professionelle Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für erweiterte Fehleranalysen. Es hat die Fähigkeit, bis zu drei Wafer gleichzeitig zu testen und umfassende Daten über ihre Parameter wie Defekte, Dicke, Rückseitenreinheit und mögliche Verschmutzungen, Planität und Ebenheit, Dickengleichmäßigkeit und Oberflächenrauhigkeit zu liefern. Dieses System ist unter anderem mit zwei Hochleistungs-Vakuumscannern ausgestattet. Bei der Annahme eines Swing-Bar-Designs passt einer die Bühnenneigung an, während der andere den Standoff-Abstand anpasst. Dies ermöglicht eine genaue Abtastung der gesamten Fläche der meisten Wafer. KLA RS55 enthält auch eine hochfrequente Fokusregelung, die eine präzise Fokussierung der gemessenen Oberfläche ermöglicht. Darüber hinaus verfügt TENCOR RS 55 über eine X-Y-Bühneneinheit, die die Positionierung und das Scannen von Wafern erleichtert. Dies ermöglicht eine schnelle Einstellung des Scanbereichs bei gleichzeitiger genauer Ausrichtung der Prüfeinrichtung auf die Mitte des Wafers. Es steuert auch die z-Bewegung, was hilft, einen idealen Ausstand zwischen dem Wafer und den Prüfmitteln aufrechtzuerhalten. KLA RS 55 unterstützt auch eine breite Palette von Test- und Analyseaufgaben, wie FPRA (Fourier Power Reflectometer Analysis), NGR (Non-Gaussian Reflectivity) und Contour Profiling. Es kann auch verwendet werden, um Fehler von 0.2nm bis 1mm in der Größe zu messen. Die fortschrittliche Bildverarbeitung ermöglicht es TENCOR RS-55, Fehler nach Größe, Form, Standort und Phase genau zu erkennen und zu klassifizieren. RS 55 ist mit einer Prober-Schnittstelle ausgestattet, die eine präzise Steuerung der Wafer-Handhabung und die Messung temperaturempfindlicher Parameter ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über vollautomatische Tests und Datenanzeige, die es dem Benutzer ermöglicht, Testparameter zu definieren, den Durchsatz zu maximieren und Testergebnisse in Echtzeit zu überwachen. Mit all diesen Funktionen ausgestattet, liefert TENCOR RS55 präzise, zuverlässige und umfassende Daten über die Parameter eines beliebigen Wafers. Dies macht es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für erweiterte Fehleranalyse und Prozesskontrolle.
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