Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #293820679 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist eine automatisierte Lösung für Wafer-Tests, Analyse und Inspektion. Es ermöglicht eine schnelle, genaue und wiederholbare Analyse der physikalischen und elektrischen Leistung von Halbleiterscheiben. Das System kombiniert fortgeschrittene Bildgebung, Analytik und Kontrolle zur Erfassung und Analyse von Waferattributen wie CD/Critical Dimension, OPC/Optical Probe Correction, Defect Review, CD Uniformity High Frequency Metrology, Total Soundness, (visuell, Chip-off und Bump Contamination). Es unterstützt auch die hochauflösende Bildgebung und Analyse von Silizium-Wafern und -Geräten und bietet einen tieferen Einblick in die Geräteleistung und die Prozessoptimierung der Waferherstellung. Die KLA RS55 Unit basiert auf einer Plattform, die eine offene konfigurierbare Maschinenarchitektur mit einem modularen roboterbasierten Handhabungswerkzeug, einer zweistufigen optischen Sonde, einer hochauflösenden Kamera für die Bildgebung und einem integrierten Computer Control Network Asset umfasst. Es ist für die Lebensdauer und Genauigkeit der Werkzeuge optimiert, mit vielen Funktionen, um erweiterte Funktionen wie Ausrichtungsoptimierung und mechanisches Scannen auf mehreren Ebenen zu ermöglichen. Es ist imaging fähig und enthält auch eine komplette Suite von fortschrittlichen optischen Messtechnik-Tools. Das Inspektionsmodell von TENCOR RS 55 ist sehr anpassungsfähig und bietet Abdeckung verschiedener Wafergrößen, komplizierte Mustergeometrien und hochauflösende räumliche Positionen. Infolgedessen unterstützt es ultra-niedrige Dosisabbildungen von CD-Strukturen, CD-Gleichmäßigkeit und 3D-Topographie. Das Gerät unterstützt auch hohe Empfindlichkeit und Detektionsmöglichkeiten, mit einem FBRM-Gerät, das die Fähigkeit hat, CD-Ungleichförmigkeiten zu erkennen, sowie optisch zu charakterisieren CD-Strukturen und CD-Gleichförmigkeit von CD/OCD, OPC/OPC/OCD, FEOL/FEOL OL OL Cross-TO-MesstEchnik stechnik. Darüber hinaus wurde das KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 System entwickelt, um eine Durchsatzoptimierung mit automatisierter Waferkassettenschnittstelle, DGC Data-Based Unification und benutzerfreundlicher Wafer-basierter Gerätesteuerung zu ermöglichen. TENCOR RS55 unterstützt die Prozesssteuerungsoptimierung durch Überwachung und Steuerung kritischer Leistungsparameter sowie PID-Temperatur- und Drucksollpunkte mit fortschrittlichen Software-Algorithmen zur Maschinenoptimierung. Darüber hinaus verfügt dieses Tool über eine ausgeklügelte Automatisierung, die es den Betreibern ermöglicht, das Asset mit minimalem Eingriff über Nacht laufen zu lassen. Abschließend ist KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 ein umfassendes Wafertest- und Metrologiemodell, das eine hohe Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit bietet. Es wurde entwickelt, um eine umfassende Abdeckung der physikalischen und elektrischen Eigenschaften von Wafern zu liefern und bietet einen integrierten Satz von Funktionen für die Bildgebung, Messtechnik und Prozesssteuerung. Darüber hinaus ist die ausgeklügelte Automatisierung und der offene Konfigurationsträger eine ideale Wahl für die anspruchsvollen Anforderungen von Halbleiterscheibentests, -analysen und -prüfungen.