Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9157661 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine vollautomatisierte Messtechnik-Plattform mit hohem Durchsatz für die Wafer-Charakterisierung. Es verwendet fortschrittliche Techniken der optischen Streuung, um kritische Parameter wie Filmdicke, Rauheit und optische Konstanten mit hoher Genauigkeit und Präzision zu messen. Das System ist ideal für Durchsilizium-Prozesse (TSV), MEMS-Geräte und 3D-Integrationstechnologien. Die KLA- RS55-Einheit nutzt die modernste, hochmoderne optische Bildgebungstechnologie für mehr Genauigkeit. Es verwendet zwei optische Streumesser, die beide ein Null-Gleichungsverfahren zur genauen Parameterbestimmung verwenden. Die Maschine extrahiert kritische Daten aus Wafern unterschiedlicher Größe und Eigenschaften, basierend auf den einzigartigen Prinzipien der Streumessung. Darüber hinaus sorgen seine automatisierten optischen Ausrichtungsalgorithmen für eine genaue Charakterisierung selbst anspruchsvollster Wafergeometrien. TENCOR RS 55 ist mit einer leistungsstarken integrierten Datenanalyse-Suite ausgestattet, mit der Benutzer mehrere Prozesskontrollen durchführen und Waferdaten in Echtzeit analysieren können. Dieses Tool verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), um den aktuellen Prozess besser zu verstehen, indem es seine Ergebnisse mit historischen Datensätzen vergleicht. Die GUI kann verwendet werden, um benutzerdefinierte Betriebsprofile zu erstellen, eine bessere Prozesskontrolle zu gewährleisten und Berichte zu erstellen. Die Hauptvorteile von KLA RS 55 sind seine Robustheit gegenüber Oberflächenmerkmalen, seine Fähigkeit, mehrere Parameter zu messen, und sein hoher Durchsatz. Das Werkzeug kann über 10 Parameter gleichzeitig messen, einschließlich Dicke, Schritthöhe, optische Konstanten und Diagnose. Darüber hinaus arbeitet KLA RS-55 in Kombination mit spezialisierter APC-Software (Automated Process Control), die die Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit der Leistung zur Maximierung der Prozesserträge gewährleistet. Abschließend bietet RS 55 Wafer Testing and Metrology Asset eine zuverlässige, kostengünstige Lösung zur Wafer-Charakterisierung und Prozessüberwachung. Die fortschrittliche optische Bildgebungstechnologie und die automatisierte Prozesssteuerung des Modells bieten eine genaue, wiederholbare Analyse und gewährleisten höchste Qualität in Ihren Waferprozessen.