Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9258171 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät für Halbleiterhersteller. Es verwendet automatisierte optische Inspektion (AOI) mit fortschrittlichen Algorithmen, um Fehler in Waferoberflächen wie Partikel, Risse, Kratzer, Hohlräume und kleine Gruben bei Auflösungen bis zu 50 Nanometer zu erkennen. Es ist in das KLA 5x SEM-Bildgebungssystem integriert und bietet Vollwafer-Messtechnik, einschließlich Topographie, Waferkrümmung, Oberflächenmapping, Overlay und Mustermessung. KLA RS55 besteht aus robusten Hardware- und Softwarekomponenten, die es ermöglichen, in den rauesten Produktionsumgebungen zuverlässig zu bleiben. Seine Kamera- und Mikroskopeinheit verwendet modernste Abbildungsoptiken und Bildverarbeitungsalgorithmen, um hochauflösende Bilder zu sammeln, die eine Vielzahl von Fehlerinspektionsanwendungen ermöglichen. TENCOR RS 55 ist mit intelligenter Software ausgestattet, die den Waferprozess von Anfang bis Ende automatisiert und mitmacht. Die fortschrittlichen Algorithmen der Plattform, wie ScreenOverlay, bieten eine präzise Zusammenführung und Zuordnung von Waferdaten über mehrere Wafer auf denselben Bereich. Es verfügt außerdem über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Bediener Wafertests und Messtechnik schnell einrichten und steuern können. Die benutzerfreundlichen und leistungsstarken Messfunktionen von PROMETRIX RS-55 ermöglichen eine schnelle und genaue Fehlererkennung bei höchster Auflösung. Darüber hinaus ermöglichen seine 8-Bit- und 32-Bit-Messungen die Detektion kleiner Partikel und anderer Mikrofehler. Seine Analysefunktionen ermöglichen eine schnelle und genaue Inspektion von Linienkanten- und Linienbreitenattributen zur Charakterisierung von Lithographieprozessen. Die Maschine umfasst das berührungslose Reinigungswerkzeug LinkClean zur Waferreinigung zwischen Inspektionen oder zur Fernreinigung von Schmutz oder feinen Partikeln. KLA RS-55 unterstützt verschiedene Reinigungsstrategien, einschließlich Laser oder Chemikalien/durch Tauchausgabemodelle, für die Oberflächenverschmutzungsreinigung. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS55 bietet zuverlässige Wafertests und Messtechnik für eine leistungsstarke Prozesssteuerung und ein verbessertes Ertragsmanagement. Seine hochpräzise optische Bildgebung, fortschrittliche Algorithmen, benutzerfreundliche GUI und umfassende Reinigungsoptionen machen es zur idealen Wahl für Halbleiterhersteller.