Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55 #9265521 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55
ID: 9265521
Wafergröße: 8"
Four point probe resistivity mapping system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die auf die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Es kann verwendet werden, um Waferoberflächen zu analysieren und ihre elektrischen Eigenschaften zu messen. KLA RS55 bietet fortschrittliche optische, widerstandsfähige und kapazitive Messtechnik in einem einzigen System, das die Notwendigkeit mehrerer Testsysteme erleichtert. Diese Hochleistungseinheit ist äußerst präzise und effizient bei der Datenerfassung, -analyse und -geschwindigkeit und bietet zuverlässige Datenqualität. Die Maschine ist mit einer 4-Achsen-motorisierten XYZ-Stufe ausgelegt, die Wafer mit einem Durchmesser von 300mm aufnehmen kann. Dies ermöglicht eine Wafer-Topographie-Abbildung und die Fähigkeit, kleine Abstandsschwankungen mit Sub-Nanometer-Genauigkeit zu messen. Es enthält auch ein 4-Quadranten-Wafer-Spannfutter, das die Notwendigkeit beseitigt, die Probe manuell zur Bilderfassung zu drehen. TENCOR RS 55 verfügt über ein laseroptisches Streuwerkzeug, das kalibriert wird, um widerstandsfähige und kapazitive Parameter mit hoher Genauigkeit zu messen. Das Gerät ist mit einem gepulsten Interferometer ausgestattet, das sich innerhalb der optischen Säule befindet und als Referenzstrahl dient, um sehr kleine Oberflächenprofile und Rauheitsschwankungen zu erkennen. Dieses Messmerkmal macht das Modell ideal für viele Prozessschritte der integrierten Schaltungsherstellung. Die Software von PROMETRIX RS-55 ist einfach zu programmieren und bietet umfassende Analyse- und Ergebnisberechnungen. Darüber hinaus ist RS55 in der Lage, hochauflösende Waferbilder darzustellen und statistische Analysen zur Auswertung von Halbleiterprozessen durchzuführen. Die Geräte können auch mit zusätzlichen Software-Tools für automatisierte Wafertests und Messtechnik integriert werden. Insgesamt ist KLA RS 55 ein fortschrittliches und zuverlässiges Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet hochpräzise messtechnische Funktionen mit beispielloser Genauigkeit, effiziente Datenerfassung mit zuverlässiger Berichterstattung und umfangreiche Software mit intuitiver Benutzeroberfläche. Damit ist sie die perfekte Prüf- und Messtechnik für jeden Halbleiterhersteller.
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