Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9281547 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA ist eine moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die umfassende messtechnische Lösungen für die Charakterisierung fortschrittlicher Wafer- und Chip-Designs bietet. Es ist ein integriertes System, das mit mehreren Funktionen ausgestattet ist, um komplette Analysen und Leistungsbewertungen für Wafer-Designs in verschiedenen Höhen bereitzustellen. KLA RS 55 TCA verwendet fortschrittliche laserbasierte Technologien zur Fehlerinspektion. Laserbasierte Technologien, die von der Einheit verwendet werden, sind Compact Dual Mode (CDM) Bildverarbeitungsmaschine für helles Feld, dunkles Feld, Farbmesstechnik sowie optionale CDM-In-Line-Overlay-Messungen, um kleinere Fehler zu erkennen. Darüber hinaus können mehrere automatisierte nicht-laseroptische Konstruktionswerkzeuge wie optisches Hellfeld und Dunkelfeld, Messtechnik und Overlay in das Tool aufgenommen werden. Die Dual-View-Optik ermöglicht gleichzeitige Messungen der Messtechnik an mehreren Waferstandorten. Das Modell hat ein maximales Sichtfeld von bis zu 500 mm in X-Y-Achsen und einen maximalen Arbeitsabstand von 4-5 mm. Sie ist in der Lage, Fehler bis zu 0,25 μ m von der Substratoberfläche zu unterscheiden und zu messen. Weitere Merkmale des Geräts sind ein High-Speed-Line-Scan-Modus und ein breiter Mura-Messbereich mit dedizierten Signalverarbeitungsalgorithmen. Das System wird durch Hochleistungsbildanalysenrahmen angetrieben, schnellere Bildbearbeitungszeiten durch das Reduzieren von Computerlasten ermöglichend. Es wird durch eine einzigartig gestaltete, integrierte Wafer-Ein-/Ausgangsautomatisierungseinheit unterstützt, die einen hohen Durchsatz ermöglicht. Neben den Hardwarefunktionen ist TENCOR RS-55/TCA mit einem erweiterten Softwarepaket ausgestattet, das Analyse- und Überwachungsfunktionen sowie eine benutzerfreundliche Oberfläche bietet. Die Software kann umfassende Berichte über einen Prozesszyklus liefern, einschließlich Fehlerkarten, Trenddiagramme und Fehlermanagement/statistische Prozesssteuerung (SPC). Die softwaregesteuerte Maschine ermöglicht eine effiziente Datenerfassung zur Identifizierung, Priorisierung und Verringerung von Qualitäts- und Ertragsverlusten. PROMETRIX RS-55 TCA ist eine umfassende und kostengünstige Lösung für die umfassende Prüfung und Messtechnik fortschrittlicher Wafer und Chips. Es bietet zuverlässige Performance und bietet End-to-End-Analyse für einen kompletten Bewertungszyklus.