Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9284327 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA ist eine schnelle, anspruchsvolle Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für den Einsatz in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es kombiniert hochauflösende, automatisierte Bildgebung mit halbautomatischen Messungen, die eine detaillierte Analyse und Bewertung von Halbleiterscheiben mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Genauigkeit ermöglichen. KLA RS 55 TCA ist mit einer Overhead-Telezentrik-Optik ausgestattet, die Wafer mit einer Größe von bis zu 8 Zoll aufnehmen kann. Das Gerät ermöglicht eine hochpräzise Abbildung des Testwafers mit mikroskopischen und makroskopischen Merkmalen sowie eine 3D-Tiefenprofilierung mit Rasterelektronenmikroskopie (SEM). Diese integrierte Bildverarbeitungsmaschine bietet Abweichungen in der Bildauflösung bis zu 0,5 Mikrometer. Das hochauflösende Bildgebungswerkzeug ermöglicht es Benutzern, nanoskalige Defekte, Dünnschichtdicken und kritische Parametermessungen zu erkennen. Automatisierte Messungen wie Overlay, Fokus und Wiederholbarkeit, spektroskopischer Vergleich, Fehlererkennung, Musteranpassung und Ätztiefe werden durch die messtechnischen Fähigkeiten von TENCOR RS-55/TCA ermöglicht. Darüber hinaus verfügt KLA RS-55 TCA über eine fortschrittliche Software zur automatisierten Analyse und Berichterstattung von Inspektionsergebnissen. Die Software ist in der Lage, die Asset-Instrumentierung zu steuern, Parameter zu messen und Berichte mit einer Vielzahl von Formaten zu erstellen. Zum Beispiel ist die Software mit statistischen Prozesskontrollen (SPC) und Problemlösungstools sowie anpassbaren Maskenbegrenzungsdatenbanken ausgestattet. Schließlich verfügt TENCOR RS-55 TCA über einen klimatisierten Betrieb, der es ermöglicht, einwandfreie Temperaturen und niedrige Schwankungen aufrechtzuerhalten, um höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu gewährleisten, auch wenn mehrere Wafer gleichzeitig betrieben werden. PROMETRIX RS 55 TCA ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Wafer-Prüf- und Messtechnikmodell, das präzise Bildgebungs- und Messfunktionen mit höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es ist eine ideale Lösung für Halbleiterherstellung und Testanwendungen, die hochauflösende Bildgebung und schnelle Umlaufzeiten erfordern.