Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9293260 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA
ID: 9293260
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA ist ein hochpräzises Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das speziell für eine fortschrittliche Prozesssteuerung in Halbleiterproduktionsumgebungen entwickelt wurde. Es kombiniert fortschrittliche automatisierte Fehlererkennungs- und Klassifizierungsfunktionen mit vollständiger 3D-topographischer Abbildung und Widerstandsanalyse. Die automatisierte Bildgebungsoptik von KLA RS 55 TCA bietet ein weites Sichtfeld in hoher Auflösung, um überlegene Erkennungs- und Klassifizierungsmöglichkeiten zu gewährleisten. Das System verfügt über eine patentierte, innovative Autofokus-Fähigkeit, bei der Bilder kontinuierlich ausgewertet und Korrekturen an der bildgebenden Linse vorgenommen werden, um maximale Schärfe und Bildtreue zu gewährleisten. Es enthält auch dynamische Mapping-Technologie für hochpräzise topographische Mapping. TENCOR RS-55/TCA ist in der Lage, nanoskalige Defekte mit unübertroffener Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu erkennen. Sein patentiertes Defektklassifizierungssystem verwendet probabilistische Techniken, um komplexe Fehler schnell und zuverlässig zu erkennen und zu klassifizieren. Dadurch wird sichergestellt, dass nur signifikante Mängel gemeldet werden. Es ist auch in der Lage, erweiterte Fehleranalyse, einschließlich 3D-optische Profilometrie und elektrische Messungen, ermöglicht die Messung von Eigenschaften wie Ätztiefe und Widerstand. KLA RS-55TCA bietet durch seine ausgeklügelte Softwarearchitektur Rückverfolgbarkeit und Reproduzierbarkeit. Seine vielfältigen Rezepturen und vollautomatischen Bildgebungs- und Messtechnik-Prozesse ermöglichen es dem Bediener, eine Reihe von Geräten schnell einzurichten und zu testen. Dies führt zu erhöhtem Durchsatz, geringeren Fehlerraten und verbesserter Fertigungsausbeute. RS-55TCA hat einen modularen Aufbau und ist offene Architektur, so dass es einfach in andere Produktionsprozesse sowie Robotersysteme integriert werden kann. Seine robuste, modulare Konstruktion und seine hervorragende mechanische Bauqualität garantieren Leistung in rauen industriellen Umgebungen. In Kombination mit KLA-erstklassiger anwendungsspezifischer Software bietet RS-55 TCA eine Gesamtlösung für Wafertests und Messtechnik.
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