Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9299450 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA
ID: 9299450
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein hochpräzises, automatisiertes Werkzeug zur Messung und Analyse von Halbleiterbauelementen mit unübertroffener Genauigkeit und Zuverlässigkeit. KLA RS 55 TCA bietet eine Reihe von Technologien, die die Messung und Analyse der kritischen Eigenschaften von Wafern von führenden Halbleiterherstellern ermöglichen. TENCOR RS-55/TCA bietet hochauflösende, hochgenaue Wafer-Messtechnik. Das Messsystem verwendet optische Bildgebung und Spektroskopie sowie Widerstand, Kapazität und Parameteranalyse, um präzise Messungen der Geräteeigenschaften zu erhalten. Darüber hinaus hat die Messtechnik-Einheit die Fähigkeit, über mehrere Werkzeuge mit einer Werkzeugkonfiguration zu messen, und ist in der Lage, mehrere Werkzeuge in einem einzigen Bild zu messen. KLA RS-55 TCA bietet auch automatisierte Wafer Defekt-Inspektion. Die Maschine verwendet vier verschiedene Techniken für die Fehlerinspektion, einschließlich optischer Bildgebung, Hochfrequenzinspektion, Infrarot-Bildgebung und Quarz-Kristall-Mikrobalance-Inspektion. Das Tool ist mit einer erweiterten Mustererkennung ausgestattet, die sichtbare Fehler auf der Oberfläche des Wafers identifizieren und melden kann. Die KLA- RS-55TCA umfasst eine Reihe fortschrittlicher Funktionen zur Prozesssteuerung. Seine einzigartige Sensorplattform und leistungsstarke Rechenkapazitäten ermöglichen eine effektive Überwachung der tatsächlichen Prozessparameter gegenüber eingestellten Zielwerten. Das Modell kann Abweichungen von festgelegten Zielwerten erkennen und anzeigen, so dass Echtzeit-Korrekturmaßnahmen zur Vermeidung von Qualitätsproblemen möglich sind. TENCOR RS 55 TCA enthält auch eine integrierte Datenerfassungsausrüstung (DAQ), die Datenspeicherung, -abruf und -analyse ermöglicht. Das System speichert Daten für den späteren Abruf und die Überprüfung und schützt alle gesammelten Daten vor Ausfällen von Einheiten. Die intuitive Benutzeroberfläche der Maschine vereinfacht die Datenanalyse und erleichtert die Überprüfung von Prozesstrends und die Isolierung von Problembereichen. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55 TCA wurde entwickelt, um einwandfreie Leistung bei geringen Wartungsanforderungen zu bieten. Das Werkzeug ist mit einem modularen Aufbau ausgestattet, der es ermöglicht, unabhängige Komponenten einfach auszutauschen, wenn ein Teil ausgetauscht werden muss. Darüber hinaus basiert das Asset auf einer agilen Architektur, mit der es schnell aktualisiert werden kann, um den sich entwickelnden Anforderungen der Gerätehersteller gerecht zu werden. Zusammenfassend ist das Wafer-Test- und Metrologiemodell PROMETRIX RS-55 TCA ein modernes Wafer-Test- und Analysegerät, das auf aktuelle und zukünftige Halbleiteranforderungen ausgelegt ist. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, darunter hochauflösende Messtechnik, automatisierte Wafer-Fehlerinspektion und leistungsstarke Prozesssteuerungsfunktionen. RS-55/TCA ist effizient, zuverlässig und wartungsfreundlich, und seine agile Architektur gewährleistet die Kompatibilität mit zukünftigen Innovationen in der Halbleitertechnologie.
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