Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9300181 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA
ID: 9300181
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die integrierte Messtechnik und Fehlerüberprüfung von integrierten Schaltungen und Dünnschichtstrukturen auf Wafern bietet. KLA RS 55 TCA ist das Ergebnis der Integration von UCK-bewährten Mess- und Fehlerüberprüfungsfähigkeiten und dem patentierten TENCOR-Wafer-Prüfverfahren. Die Integration dieser beiden Prozesse in TENCOR RS-55/TCA gewährleistet eine qualitativ hochwertige Messtechnik und eine schnelle, zuverlässige Fehlererkennung. Das System ist mit einem hochpräzisen optischen Mikroskop mit Laser-Autofokus-Einheit, einem automatisierten Bildverarbeitungs-Subsystem und einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) ausgestattet, das sowohl Oberflächen- als auch Untergrunddefekte identifizieren kann. Die Maschine bietet auch Echtzeit-Fehlerinspektions- und Überprüfungsfunktionen. Die Optik kann Strukturen bis zu einer Größe von 0,1 Mikrometern abbilden. RS-55TCA umfasst eine breite Palette von Bildgebungsfunktionen wie die Identifizierung von Werkzeugen oder Testchips, automatische Fokusparameteranpassung, niedrigste Kontrast- und Schwellensteuerung, Echtzeitfehlergrößen- und Fehlerflächenmessung, Fehlergrößenverteilungsanalyse, Histogrammanalyse, Mustererkennung verschiedener Fehlertypen und automatische Berichtsgenererzeugung. Es bietet auch automatisierte und interaktive Wafer-Überprüfungsmodi, mit denen Benutzer Fehler auf Wafer- oder Sub-Wafer-Ebene schnell anzeigen und analysieren können. Das Werkzeug ist für den Betrieb in einer Reinraumumgebung konzipiert, kann aber auch in einem Bereich von Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druckbereichen arbeiten. Diese adaptive Fähigkeit macht das Asset ideal für eine Vielzahl von Branchenanwendungen. Der Hauptvorteil des UCK RS-55TCA Modells ist seine Fähigkeit, Fehler auf einem Wafer schnell zu erkennen und zu analysieren, indem PROMETRIX bekannte Messtechnik und Fehlerüberprüfungsfunktionen mit seinen hochpräzisen optischen und SEM-Bildgebungstechnologien kombiniert werden. Dadurch können Anwender eine schnellere und genauere Prozesskontrolle und verbesserte Erträge erwarten. Zusätzlich kann die Ausrüstung die Time-to-Market reduzieren und die Kundenzufriedenheit verbessern.
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