Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9312925 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA
ID: 9312925
Weinlese: 1994
Resistivity mapping system 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die komplexen Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Dieses System nutzt die neuesten Fortschritte in der Optik und Laser, ermöglicht High-Speed, berührungslose Abtastung von Waferoberflächen. Es misst präzise Geräteparameter wie Dotierungstiefe, Fehlergröße, Widerstand, Ätztiefen, Kratztiefen und SEM-Parameter. Das Gerät ist in der Lage, den Wafer bis zu 500x schneller als die nächste herkömmliche Scanmaschine zu inspizieren. Seine Flexibilität ermöglicht hohe Durchsätze und wiederholbare Messungen, unabhängig von der Wafergröße. Es wird auch mit integrierter Oberflächenanalyse, Prozessüberwachung, Fehlererkennung und Messtechnik-Software geliefert. KLA RS 55 TCA nutzt ein weites Sichtfeld für maximale Messgenauigkeit. Es verfügt über eine erweiterte Nahfeld-Bildgebungsfähigkeit, die einen Einblick in Subnanometer-Strukturen auf dem Wafer bietet. Darüber hinaus verfügt es über eine visionierende und bildgebende Lichtquelle zur Waferinspektion. Das Vision-Tool hat eine Pixelauflösung von 30 μ m und ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Analyse kritischer Wafereigenschaften. TENCOR RS-55/TCA ist ein vollautomatisches Asset. Es verwendet ein voll integriertes Roboter- und Vision-Modell, das ein ununterbrochenes und kollimiertes Scannen von Wafern ermöglicht. Das Gerät ermöglicht Hunderte von Wafermessungen gleichzeitig und ist in der Lage, bis zu 1000 Wafer in einer Stunde zu messen. Das System kann Sauberkeit, Oberflächengüte und Verschmutzungsgrade bewerten. Zusätzlich ist die Sehkraft einstellbar, um verschiedene Wafergrößen, einschließlich der kleinsten Chips, aufzunehmen. PROMETRIX RS-55/TCA verfügt über integrierte Software- und Datenanalysetools mit vollständig standardkonformen Protokollen. Die Software ermöglicht die automatische Erkennung von Funktionen, die Fehlerisolierung und den Trend zu statistischen Daten. Darüber hinaus bietet diese Einheit die für Automatisierung und Betrieb notwendige Intelligenz bei hoher Genauigkeit. TENCOR RS-55TCA ist für die Untersuchung, Messung und Datenerfassung von dreidimensionalen optischen Oberflächen konzipiert. Es hilft bei der Erlangung eines vollständigen Verständnisses des Wafers und seiner kritischen Parameter, um optimale Anpassungen für die Ertragsoptimierung vorzunehmen. Insgesamt ist PROMETRIX RS 55 TCA die ideale Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine für die sich heute schnell verändernde Halbleiterindustrie.
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