Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #179989 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 179989
Resistivity mapping system, 8"
Hardware Configurations:
Handler Type: H2 handler, with two open cassette platens, it can be
attached with ASYST Load port for SMIF fab
Computer: 486/66 MHz
SW(StatTrax) Version : ST-6.70
Probe Head: x1 (Probe head type is optional depends on request)
Standard User interface - Monitor, Keyboard, trackball
Standard Media : Floppy Disk(1.44M)
Measurement Specifications:
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS)
standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe
Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5oC
Temperature Repeatability: ±0.2oC
Measurement Capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
All standard wafer sizes: 100, 125, 150 and 200 mm
Analysis Capabilities:
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Data Transfer Capabilities:
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation (optional)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC ist eine verpackte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für schnelle, hochpräzise Studien von Halbleiterbauelementen, Schaltungen und verwandten Technologien entwickelt wurde. Es bietet automatisierte optische Inspektion (AOI) und Messungen kritischer Abmessungen (CD) mit Submikron-Genauigkeit. Das System basiert auf einem robusten Rahmen, der simultane AOI- und CD-Messungen ermöglicht und eine schnelle Gerätecharakterisierung ermöglicht. KLA RS75/TC liefert hochauflösende Messtechnik-Daten über einen speziellen optischen Kopf, der über ein motorisiertes motorisches Tablett und Suchobjektiv verfügt und schnelle und präzise Scanfunktionen ermöglicht. Mit fortschrittlichen teleskopischen und automatisierten Betrachtungsmethoden kann das Gerät je nach Kundenanforderung Fehler und CD-Parameter genau erkennen, messen und analysieren. Die automatische Kalibrierung optimiert die optische Leistung basierend auf Wafertyp und benutzerdefinierten Parametern. Die integrierte, proprietäre Advanced 3D-analysis Software Suite umfasst leistungsstarke inverse optische, CD- und GQA-Tools für umfassende Messtechnik und Fehleranalyse. Die Software lässt sich bequem in viele führende Wafer-Ökologiemodelle integrieren, wodurch Gesundheits- und Risikobewertungsanalysen vereinfacht und gleichzeitig genaue, konsistente Ergebnisse gewährleistet werden. TENCOR RS-75TC verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine effiziente Steuerung von optischen Ausrichtungs- und Abtastparametern ermöglicht, so dass Defekte und CD-Messungen in einem einzigen Scan zuverlässig erreicht werden können. Die farbig beleuchtete, kontrollierte Umgebung sorgt dafür, dass die Helligkeitsstufen konsistent bleiben und eine optimale visuelle und Defekterkennung ermöglichen. Darüber hinaus bietet PROMETRIX RS-75TC eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen, die die Datenerfassung und -analyse optimieren. Es ermöglicht die Replikation und gemeinsame Nutzung von Wafer-Rezepten, transportable Scanspuren und die Überprüfung mehrerer Fehlereigenschaften auf einmal. Darüber hinaus bietet die Analyseberichtstabelle Kunden ein leicht programmierbares Berichtstool, mit dem sie Daten in einem einzigen Experiment in .csv oder .xls-Formaten exportieren können. KLA RS-75/TC ist das perfekte Werkzeug für erweiterte Wafertests und Messtechnik für eine breite Palette von Halbleiterbauelementen, Schaltungen und Technologien. Es bietet eine vollständige Kontrolle der optischen Ausrichtung, der Probenahmeparameter und der automatisierten Fehlerinspektion. Kunden können ihre Geräte zuverlässig untersuchen und gleichzeitig Genauigkeit und Konsistenz gewährleisten. Seine erweiterten Funktionen und intuitive Benutzeroberfläche machen die Maschine einfach zu bedienen, so dass Kunden ein leistungsfähiges, schnelles und hochgenaues Messtechnik-Tool in der Handfläche haben.
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