Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TC #293761701 zu verkaufen

ID: 293761701
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Resistivity mapping system, 8" 2000 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TC ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik für Halbleiterhersteller. Sie ermöglicht es Benutzern, kritische Halbleiterparameter wie Dicke, Zusammensetzung und physikalische Abmessungen genau zu messen. KLA RS75/TC wurde entwickelt, um mit seiner hochauflösenden optischen Mikroskopie (30 Nanometer), optischen Bildanalysetools und modernsten Algorithmen überlegene Scanfunktionen zu bieten. Das System verwendet fortschrittliche automatisierte Wafer-Positionierer, um eine Vielzahl von Wafer-Formaten mit minimaler Benutzereinbindung schnell und präzise zu scannen. Es verfügt auch über eine schnelle Digital Image Correlation (DIC) -Funktion, die Wafer-Merkmale in einem Bruchteil einer Sekunde genau misst, nachdem der anfängliche Wafer gescannt wurde. TENCOR RS-75TC ist auch mit einer automatisierten Bühnenlifteinheit und TraxWriter-Analyse ausgestattet, einem robusten Analysepaket, das auf Rückverfolgbarkeit, Wiederholbarkeit und Flexibilität ausgelegt ist. Der TraxWriter ermöglicht es dem Benutzer, bis zu 9 Scan-Definitionen zu erstellen, die verwendet werden können, um Funktionen wie Pit-Shows, Partikelzahlen und fiducial-Marken zu identifizieren. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75/TC in der Lage, viele andere Parameter wie Foliendicke, Topographie, Kontaktwiderstand und optische Qualität zu messen. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75/TC verfügt auch über eine Vielzahl von optionalen Tools, die hinzugefügt werden können, um die Messfunktionen zu verbessern. Dazu gehören Hot-Chuck-Adapter, die es den Wafer-Positionierern ermöglichen, erhitzte Wafer zu halten, während sie getestet werden, und Sondenreiniger, die den Verschleiß reduzieren und die Lebensdauer von Sonden verlängern. Das Laser-Sizing-Modul kann verwendet werden, um die Filmdicke mit mehr Genauigkeit und Präzision zu messen, während der Leak Locator Bedienern hilft, Lecks auf der Waferoberfläche zu überprüfen und zu identifizieren. Insgesamt ist die KLA RS 75/TC eine umfassende Maschine für Wafertests und Messtechnik. Es bietet Anwendern hochauflösende Optik, fortschrittliche Algorithmen, automatisierte Bühnenlifte und eine Reihe optionaler Komponenten, die eine bessere und schnellere Prüfung kritischer Halbleiterparameter ermöglichen. Durch überlegene Scanfunktionen und Präzisionsmessungen ist dieses Tool ideal für Halbleiterhersteller, die ihre Fertigungsprozesse verbessern und ihren Durchsatz steigern möchten.
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