Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75/TCA #9135668 zu verkaufen

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ID: 9135668
Metal thickness measurement 2001 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75/TCA ist eine hochentwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine zuverlässige und schnelle Datenabfrage einer Vielzahl von Waferparametern ermöglicht. Es wird in industriellen Produktionsumgebungen verwendet, um Wafereigenschaften zu testen, zu messen und zu analysieren, die in der Prozesssteuerung und -technik verwendet werden. KLA RS75TCA nutzt die Top-of-the-Line-Optik und Kameratechnologie, um unübertroffene Informationen über Wafer-Funktionen und -Fehler bereitzustellen. Dazu gehören KEs wie Dicke, Überlagerungstoleranzen, Linien- und Raumbreiten sowie kritische Bemaßungshöhe. Darüber hinaus kann das System Fehlerbreiten, -höhen und -flächen identifizieren und messen. TENCOR RS-75TCA verwendet eine dreiachsige Scanstufe, die sich mit höchster Präzision bewegen kann, um eine genaue Datenerfassung und -messung zu gewährleisten. Die Stufe wird durch modernste Bewegungssteuerung angetrieben, die bis zu 10 Nanometer Bewegungsauflösung bietet. Darüber hinaus setzt das Gerät einen patentierten und innovativen Dynamic Autofocus ein, der schnell und präzise Fokusbilder von gemusterten Strukturen erstellen kann. Das kapazitive interferometrische Mikroskop der Maschine bietet eine außergewöhnliche optische und Messauflösung, so dass Benutzer kleine Funktionen bis zu 1 Mikron Größe identifizieren können. Die interferometrische Mikroskopie ermöglicht die mikroskopische Waferinspektion und erweiterte CD-SEM- und AFM-Bildgebung. Neben seinen präzisen Messfähigkeiten umfasst RS-75 TCA eine Vielzahl leistungsstarker Funktionen, die schnelle Tests und Datenanalysen ermöglichen. Dazu gehören Echtzeit-Wafer-Mapping, automatische Fehlerinspektion und anspruchsvolle Datentrends, Visualisierung und Analysen. Auf diese Weise kann das Werkzeug Prozessabweichungen schnell identifizieren, die behoben werden können, um den Durchsatz und die Ausbeute zu verbessern. TENCOR RS-75/TCA ist ein äußerst zuverlässiges und kostengünstiges Produktionswerkzeug, das in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt werden kann. Seine unübertroffene Genauigkeit ermöglicht es dem Bediener, Wafer-Funktionen und -Fehler schnell zu testen, zu messen und zu analysieren, wodurch eine kontrollierte Prozessoptimierung ermöglicht wird.
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