Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #293745457 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein leistungsstarkes, vollautomatisiertes Werkzeug zur Inspektion und Analyse von Geräteparametern in Halbleiteranlagen. Es bietet eine breite Palette von erweiterten Fähigkeiten bei der Charakterisierung, Validierung und Qualitätskontrolle zu unterstützen. KLA RS75 bietet eine All-in-One-Lösung mit einer hochauflösenden Bildverarbeitungsstation mit Inspektion, Reflexprüfung und IV-Kurven, einem fortschrittlichen Messsystem und leistungsstarken Datenanalysetools. Die Bildverarbeitungsstation verwendet die DIC-Technologie (Digital Image Correlation), um eine echte 3D-Hochauflösung zu ermöglichen, die für die Inspektion von hochauflösenden Fehlern und kritischen Dimensionen (CD) verwendet werden kann. Die Reflex-Inspektionseinheit auf TENCOR RS 75 wurde entwickelt, um optische Interferenzen wie Partikel, Linienrauhigkeit und andere Ungleichförmigkeitsfaktoren zu erkennen, die die Geräteleistung beeinflussen können. Die Maschine bietet auch fortschrittliche statistische (SPC) und Vor-Ort-Fehleranalysen, um aberwitzige Muster zu erkennen, die auf größere Probleme hinweisen können. Neben den bildgebenden und reflexen Funktionen verfügt RS-75 über ein leistungsstarkes Messtechnik-Tool zur genauen Messung von Geräteparametern. Das schließt Randstellenspitzengenauigkeit (EPA) und Prozesssteuerungsfähigkeit (PC-C) und einen Hochleistungsmehrchipmetrologievermögenswert für das Volumenmaß und die Prozesssteuerung ein. Das Metrologiemodell umfasst auch eine Vielzahl von Filmdickenmessmerkmalen und Datenanalysefähigkeiten für eine Reihe von Wafertypen und -technologien. Schließlich ist das Gerät mit einer umfassenden Datenanalyse-Suite ausgestattet, die über die fortgeschrittenen Werkzeuge verfügt, um sowohl die bildgebenden als auch die verfügbaren messtechnischen Daten zu analysieren. Diese Suite von Tools kombiniert leistungsstarke Visualisierung mit umfassenden statistischen Daten und Funktionsanalysen, so dass Anwender lokale und globale Prozesstrends schnell erkennen können. PROMETRIX RS 75 ist mit seinen leistungsstarken, integrierten Fähigkeiten eine ideale Lösung für moderne Halbleitercharakterisierungen, Validierungs- und Qualitätskontrollprozesse.