Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9097164 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hervorragende Oberflächeninspektions- und Fehlererkennungsfunktionen für die Halbleiterindustrie bietet. Dieses System ist die ideale Lösung für die Produktionsprüfung von Wafern und liefert Anwendern zuverlässige und genaue Testergebnisse. KLA RS75 verfügt über eine Wafer-Handling-Plattform, die bis zu 5-Zoll-Wafer mit einer Größe von bis zu 6 Zoll unterstützt. Dadurch kann das Gerät in einer Reihe von Produktprüfkonfigurationen eingesetzt werden. Der Wafer wird mit einer Kombination von optischen und elektrischen Techniken inspiziert. Ein 4-Zoll-4-Zoll-Abbildungsarray wird für die optische Abbildung der Wafer und die elektrische Prüfung verwendet spezifische Sensorkonfigurationen, um Produkt- und Prozessfehler zu erkennen. TENCOR RS 75 verwertet automatisierte Datenerfassungstechniken, mit der Oblatenoberflächenbildaufbereitung und dem in einem einzelnen Pass gebotenen Zuverlässigkeitstest. Die Leistung der Maschine wird durch seine Hochleistungsbildverarbeitungsalgorithmen optimiert, zuverlässige Empfindlichkeit in einer Reihe von Anwendungen ermöglichend. Dazu gehören Scannen auf Oberflächentopologie-Defekte, Verschmutzungen, Ablagerungen und Hohlräume sowie Gerätefehleranalysen. Das Werkzeug unterstützt auch eine breite Palette von Fehlermessungen, wie Fehlerhöhe, Fehlersteigung, Fehlertiefe und Defekt min/max Abmessungen. Die Anlage ist mit einem Roboterarm für das Wafer-Handling integriert und kann für die Wafer-Inspektion und Messtechnik verwendet werden. Der Roboterarm hat einen Präzisionsbewegungsbereich von +/-0,02 Millimetern und kann umliegende Geräte für Lithographie und Ertragsmanagement erreichen. Darüber hinaus gibt die Wiederholbarkeit und Präzision des Modells ein Maximum von +/-0,1 Millimeter bei der Messung auf einem 0,2-Mikron-Niveau an. RS75 verfügt auch über fortschrittliche Hardware- und Softwaresteuerungssysteme, um sicherzustellen, dass die Ausrüstung während des gesamten Prozesses stabil bleibt. Dazu gehören eine Datenerfassungsgeschwindigkeit von 42 Millisekunden pro Pixel, manuelle und automatische Bildaufnahme sowie erweiterte Wellenformverarbeitungsfunktionen. Darüber hinaus kann das System mit anderen Systemen verknüpft werden, um die Echtzeitanalyse und Datenerfassung von Messergebnissen zu unterstützen. PROMETRIX RS-75 ist die ideale Lösung für Halbleiterproduktionstests und liefert zuverlässige, genaue und wiederholbare Ergebnisse. Mit fortschrittlichen Hardware- und Softwaresteuerungssystemen bietet dieses Gerät hervorragende Oberflächeninspektions- und Fehlererkennungsfunktionen, um höchste Qualitätsergebnisse zu gewährleisten.