Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9153014 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9153014
Wafergröße: 2"-8"
Weinlese: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Handler:
Desktop
Without wafer transfer handler
Pentium Pro 150 MHz Computer
64M DRAM
High resolution LCD color monitor, 15"
Hard Disk Drive (HDD): 200M
Diskette drive, 3.5"
Capacity: 1.44 MB
Data transfer: SECS II / RS232 Communication
Measurement capabilities:
Routine check: 1-30 Sites programmable (ASTM Standard tests included)
Contour / 3-D Map, diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 Sites
XY Map: Up to 1200 sites programmable
Probe qualification: 20 Sites
Single / Dual configuration options
Analysis capabilities:
Contour, XY Die, 3-D surface maps
Diameter scan
Trend charts
SQC Charts
Histograms
Probe qualification procedure
File editing and data extraction capability
Calibration curves for low-dose monitoring
Average, difference and ratio maps
Measurement specifications:
Range: 5 mΩ/sq - 5 mΩ/sq
Typical measurement time: 1.2 sec per test site
Based on NIST (NBS) standard wafers corrected to 23°C
Repeatability: <0.2% (1 Sigma)
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik. Das System hat eine erweiterte Messgenauigkeit von 0,2 Nanometern und ist somit ideal für Wafer-Charakterisierungsanforderungen. Es bietet auch bildgebende Funktionen für flache und 3D-Formmessungen. Das Gerät besteht aus einem leistungsfähigen Softwarepaket, das alle verschiedenen Komponenten verwaltet, es Benutzern ermöglicht, ihre Maschineneinstellungen zu konfigurieren und erweiterte Mess- und Testlösungen der KLA zu integrieren. Die Software-Suite besteht aus verschiedenen Modulen, mit denen Benutzer Kalibrierungen vornehmen, Daten analysieren und Berichte erstellen können. KLA RS75 ist mit einem proprietären Vision-Tool ausgestattet, das einen integrierten Fokus-Tuner mit automatischer Fokuseinstellung und optimierter Kamerabelichtungssteuerung umfasst. Dieser Sensor verwendet ein hochauflösendes 2048-mal-1536 Photosit-Array, um Bilder der Probe zu erfassen. Darüber hinaus verfügt es über ein erweitertes Autofokus-Asset, mit dem das Modell die Fokusebene automatisch anpassen kann, während das Exemplar der Vision-Ausrüstung präsentiert wird. TENCOR RS 75 ist zudem mit einer automatisierten automatischen Abtastfunktion integriert, mit der Anwender schnell zwischen Wafermessungen wechseln können. Durch die Verwendung eines hochauflösenden ASIC und eines Hochgeschwindigkeitsmotors ermöglicht das System die Bewegung von Proben mit Geschwindigkeiten von 1.000 mm/Sekunde. Dies ermöglicht es Benutzern, die Testzeitachse zu minimieren und die Ausgabe zu maximieren. Das Gerät wird mit einer Vielzahl von Sonden und Sensoren geliefert. Timedelay Integration (TDI) bietet eine kritische berührungslose Messfähigkeit von maximalen Beträgen, um Höhe, Breite und Tiefe eines KEs zu messen. Es verfügt auch über eine variable Optik-Maschine, mit der Benutzer die Zoomvergrößerung der mit dem TDI-Werkzeug aufgenommenen Bilder anpassen können und ein detailliertes 3D-Bild bereitstellen können. Darüber hinaus umfasst das Asset eine Vielzahl von Vision-Systemen für Anwendungen von der Kartierung bis zur Kantenerkennung. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Inspektionswerkzeugen, von End-of-Line-Tests bis hin zur Wafer-Fehlererkennung. Mit einer erweiterten Benutzeroberfläche, benutzerfreundlichen Bedienelementen und leistungsstarken Analysefunktionen ist KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75 ideal für die anspruchsvollsten Projekte.
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