Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9296599 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine vollautomatisierte Lösung mit hohem Durchsatz, die auf die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterprozess- und Bauelementcharakterisierung ausgerichtet ist. Die KLA RS75 bietet einen integrierten Satz von optischen Messtechnik-Tools, einschließlich Messung der kritischen Dimension (CD), Waferform (WS) Messung, Oberflächenstruktur (ST) Messung und Prozesssteuerung. TENCOR RS 75 arbeitet, indem Laser über den Wafer gelenkt und Datenpunkte über einen pyramidalen Spiegel gesammelt werden. Dieses fortschrittliche optische Abtastsystem ist in der Lage, bis zu Submikron-Auflösungen zu messen. Das robuste optische Subsystem wird mit einer automatisierten Materialhandlingplattform kombiniert, die den Wafer zur weiteren Analyse an verschiedene Orte unterstützt und bewegt. Darüber hinaus nutzt das Gerät modernste Ausrichtungs- und Positionierungstechniken, die die Wiederholbarkeit von Submikronen ermöglichen. Ausgestattet mit fortschrittlicher Analysesoftware kann TENCOR RS75 schnell eine Vielzahl von Eigenschaften sammeln und komplexe 3D-Karten und Grafiken erzeugen. Diese hochgenaue Maschine liefert genaue und wiederholbare Messergebnisse in einem Bruchteil der Zeit im Vergleich zu herkömmlichen manuellen Techniken. Bei Fabs weltweit setzt RS75 darauf, mögliche Prozessexkursionen zu identifizieren, bevor sie zu einem Ertragsverlust führen. Die Echtzeit-Prozessinformationen ermöglichen eine proaktive Steuerung der Datenerfassung und anschließenden Analyse, was die Zeit zur Identifizierung und Charakterisierung potenzieller Prozessexkursionen erheblich reduziert. PROMETRIX RS75 bietet mit seinem hohen Durchsatz, der schnellen Wende und der überlegenen Datenintegrität eine hervorragende Lösung für die Messung von Wafern zur Prozesssteuerung und Gerätecharakterisierung.