Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #9396481 zu verkaufen

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ID: 9396481
Wafergröße: 2"-8"
Resistivity mapping system, 2"-8" Modeling algorithm Cassette to cassette handling Alignment system: Notch / Flat aligner on probe arm Measurement range: 5mΩ/sq - 5MΩ/sq Repeatability: < 0.2% (1σ) (VLSI) Accuracy: ±1% (VLSI) Edge exclusion: 3 mm Throughput (5-Site): 100 WPH Computer Operating system: MS-DOS.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75 ist eine hochwertige automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die den Anforderungen der wachsenden Halbleiterindustrie gerecht wird. Zu seinen Merkmalen gehört ein hochpräziser, mehrachsiger Detektor, der bis zu 16 Wafer gleichzeitig inspizieren kann. Das System verfügt über eine hochauflösende Inspektions- und Messtechnik-Fähigkeit, mit der Option für mehr Auflösung auf der Inspektionsseite und mehr Genauigkeit auf der messtechnischen Seite. KLA RS75 ist mit einer großen Ringstufe ausgestattet, die eine Vielzahl von Wafergrößen ab 200mm mit einer maximalen Drehzahl von 24 U/min und einer maximalen Scangeschwindigkeit von 13,7mm/s unterstützt. Der Detektor verfügt über integrierte Intelligenz und ist in der Lage, Fehler automatisch zu identifizieren. TENCOR RS 75 ist hinsichtlich seiner Messfähigkeiten mit einer hochempfindlichen, mehrachsigen Einheit und einem Array von 33 Photomultiplier-Röhrendetektoren ausgestattet. Diese Maschine bietet Erkennungsfunktionen mit einem Vergrößerungsbereich von 1X bis 4000X. Das Werkzeug ist in der Lage, mehrere Parameter wie Oberflächentopographie, Partikeldichte, Linienbreite, Oberflächenebene, optische Parameter, CD/x-Dimension/y-Dimension, Kontrast und Linienkante/Raum-Rauheit sowie kritische Abmessungen für 3D-Schaltkreise und Gehäusestapel zu messen. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine Mustererkennungssoftware, die in Kombination mit ihrem mehrachsigen Messmodell schnelle und genaue Ergebnisse liefert. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS75 verwendet eine Vielzahl von Technologien, um eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, einschließlich der automatischen Oberflächenkalibrierung der Bühne, der Auto-Fokus-Erkennung und fortschrittlicher Algorithmen für die Messung der Linienbreite und die Mustererkennung. Es verfügt außerdem über mehrere physikalische Schilde zur Minimierung von Geräuschen und verfügt über einen integrierten Partikelzähler zur Erfassung von Reinraum- und Probenkontaminationsdaten. Das System ist auch in der Lage, bis zu 2 Millionen Bilder zur Inspektion und Analyse vergangener und gegenwärtiger Daten zur Ertragsverbesserung, Ursachenanalyse und Materialwäsche zu speichern. Neben seinen vielseitigen Test- und Messtechnik-Fähigkeiten bietet TENCOR RS75 auch eine umfassende Software-Suite. Die komplette Software bietet erweiterte Programmier-, Mess-, Datenverarbeitungs- und Analysefunktionen. Es enthält auch Software zum Betrachten und Analysieren von Wafern, zum Überlagern mehrerer Bilder und zum Vergleichen von Datensätzen. Diese Software wurde entwickelt, um Ingenieuren die Möglichkeit zu geben, Daten schnell und genau zu überprüfen und Echtzeitanalysen durchzuführen. Darüber hinaus umfasst RS 75 als Teil des Gehäuses eine Werkzeugkiste von Prozesssteuerungsanwendungen, die auf Halbleiterherstellungsbedürfnisse wie Binning und schnellen Zugriff auf kritische Prozessparameter ausgerichtet sind. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 75 ist eine ideale Lösung für hochpräzise Wafertests und Messtechnik für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter Hochleistungsgeräte und Strahllenkungs-MEMS. Sein anspruchsvoller Detektor bietet eine hochauflösende Scaneinheit, während seine integrierten Mess- und Datenverarbeitungswerkzeuge Ingenieuren die Möglichkeit bieten, Messungen schnell und genau zu analysieren und auf kritische Prozessparameter zuzugreifen. Mit seiner Fähigkeit, große Datenmengen zu speichern, und seiner umfassenden Software-Suite bietet PROMETRIX RS 75 eine All-in-One-Lösung für Wafertests und Messtechnik.
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