Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 150C #9112579 zu verkaufen

ID: 9112579
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150C ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um Prozesssteuerung und analytische Einblicke in komplexe Prozesse mit maximalem Durchsatz zu ermöglichen. Unter seinen Eigenschaften ist KLA SM 150C mit einem spezialisierten Bildgebungssystem ausgestattet, das hochauflösende Bilder der 2D- und 3D-Oberflächenmerkmale des Wafers aufnimmt und eine eingehende Analyse ermöglicht, um Anomalien, Defekte und Unregelmäßigkeiten zu erkennen. Onboard-Verarbeitung und intelligente Algorithmen unterstützen erweiterte messtechnische Funktionen, einschließlich automatisierter Fehlererkennung und Partikelgrößenbildung. Das Gerät verfügt zudem über eine hochpräzise motorisierte X-Y-Stufe, auf der sich die Wafer während der Bildgebung und Prüfung befinden. TENCOR SM 150C ist ein Teil der Smartscan-Familie mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit durch aktive Optik, eine Laser-Autofokus-Maschine und optische Mustererkennung gewährleistet. Dieses Werkzeug hat die Flexibilität, sich auf eine Vielzahl von Substraten, Sensoren und Probentypen einzustellen. Schritthöhenmessungen werden durch seine fortschrittlichen Fähigkeiten zur konfokalen Sensorik und umfassende Software-Tools durchgeführt, die Substratprofilierung und erweiterte Ertragskontrollfunktionen unterstützen. Als Teil der Smartscan-Familie kann PROMETRIX SM 150C Asset in andere Messtechnik-Tools auf Waferebene integriert werden. SM 150C bietet eine benutzerfreundliche Touch-Schnittstelle für verbesserte Navigation und Benutzerfreundlichkeit, ein fensterbasiertes Softwarepaket zur Steuerung von Messungen und Zugriff auf standardmäßige Messtechnik-Software wie SEMulator3D (3D-Rasterelektronenmikroskopie) und Quaterx (GDS-basierte automatische Ausrichtung). Das Modell ist optimiert, um schnellen Durchsatz und kompromisslose Sub-Nanometer-Genauigkeit für eine hochzuverlässige Prozesssteuerung zu liefern. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung Flexibilität und Skalierbarkeit für einzelne Instrumentenaufbauten und Clusteranordnungen. Das KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 150C System ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, um maximale Funktionalität und Wert zu gewährleisten, wie eine fortschrittliche Seheinheit, Lecksuche, Ebenheitsmessung und 24/7 Prozesskontrolle und Ertragsüberwachung. Darüber hinaus bietet die Maschine erweiterte Datenschutzfunktionen, darunter eine Snapshot-Funktion und eine Manipulationssicherung. Unterstützt durch den branchenführenden Kundenservice der KLA ist KLA SM 150C eines der fortschrittlichsten und abgerundetsten Wafer-Messtechnik-Systeme zur Prozesssteuerung und -analyse. Von der Dünnschichtmessung und Substratmesstechnik bis zur Qualitätskontrolle und Fehleranalyse bietet TENCOR SM 150C die Qualität, Geschwindigkeit, Zuverlässigkeit und Skalierbarkeit, um eine breite Palette von Prozesskontroll- und Messtechnik-Anwendungen zu unterstützen.
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