Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #139117 zu verkaufen
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ID: 139117
Wafergröße: 8"
Thin film measurement system, 8"
Un-patterned wafers C2C handler 2mm size spot
Printer:
3-D Plots
Diameter scans.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die einen umfassenden Satz von messtechnischen und Inspektionsmöglichkeiten bietet, einschließlich optischer Messtechnik und Oberflächenmesstechnik. Das System kombiniert eine integrierte optoelektronische Bildgebungseinheit, fortschrittliche Software- und Hardwarearchitektur, um automatisierte Inspektions- und Messtechnikmessungen mit hohem Durchsatz anzubieten. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine softwaregesteuerte Umgebung für vereinfachten Betrieb, maximierten Datendurchsatz und benutzerfreundlichen Zugriff auf Daten, Ressourcen und Funktionen. Das Gerät ist für Anwendungen wie Fehlererkennung, Funktionsgröße, Folienbelastung, Messungen kritischer Abmessungen, Kanteninspektion und Wafer-Scoring konzipiert. KLA SM 200 bietet both2D und 3Dmetrology Fähigkeiten, die auf die Anforderungen zahlreicher Wafer-Fertigungs- und Wafer-Testprozesse zugeschnitten sind. Das Gerät nutzt fortschrittliche bildgebende und optische Technologie für erhöhte Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Durchsatzrate. Eine integrierte LED-Lichtquelle und ein polarisierter Strahlteiler sorgen für eine optimale Beleuchtung zur optimierten Fehlererkennung. Darüber hinaus bietet das Tool das Flex-LW an, ein Scanlaser-Ausrichtungswerkzeug, das mit TENCOR SM 200 arbeitet, um eine automatisierte Methode der Echtzeit-Waferausrichtung und -Einstellung bereitzustellen. SM 200 bietet einen umfangreichen Satz von Werkzeugen und Parametern, um Testverfahren und messtechnische Analyse anzupassen. Eine integrierte regelbasierte Skriptsprache hilft dabei, den Betrieb des Asset zu automatisieren, wodurch Tests einfach an bestimmte Prozessanforderungen angepasst werden können. Eine dedizierte Benutzeroberflächenstruktur bietet Zugriff auf alle Parameter und Einstellungen, die zum Anpassen der Tests erforderlich sind. PROMETRIX SM 200 bietet zudem leistungsstarke Werkzeuge und Analysemotoren, die eine Analyse und Interpretation von messtechnischen Daten ermöglichen. Die Bildanalysefunktionen des Modells umfassen statistische Prozesssteuerung, Autofokus-Algorithmen und Bildverarbeitungsalgorithmen zur automatisierten Formatgröße, Fehlererkennung und hochauflösenden Bildgebung. Das Instrument eignet sich gut für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterindustrie, einschließlich Ausbeute Verbesserung, Prozessverbesserung und Fehleranalyse. KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200 ist hochkompatibel mit Industriestandard-Software, so dass es einfach in andere Datenvisualisierungs-, Analyse- und Reporting-Softwareprogramme integriert werden kann. Das Gerät kann auch als Teil eines integrierten Qualitätssicherungsprozesses (QS) oder als eigenständige Ausrüstung für Prüf- und Messanwendungen eingesetzt werden.
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