Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200 #189550 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 200
ID: 189550
Thin Film Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 200 ist ein bemerkenswert zuverlässiges, hochpräzises, automatisiertes Wafertest- und Messtechnik-System, das von der KLA Corporation entwickelt wurde. Seine überlegenen analytischen Fähigkeiten stammen aus seiner einzigartigen Plattform: TENCOR Autonomous Mapping Unit (KAMS). Diese Maschine verwendet proprietäre Vision-Algorithmen und dreidimensionale Registrierung von KAMS, um Wafer-Muster mit einer Genauigkeit und Präzision zu messen, die weit über das hinausgeht, was mit herkömmlichen Misalignment-Scanning-Systemen erreicht werden kann. KLA SM 200 verfügt über drei Hauptkomponenten, die es ermöglichen, so präzise und zuverlässig zu sein: den Bildsensor, den Detektor und die KAMS-Software. Der Bildsensor ist eine dreikanalige digitale CCD-Farbkamera, die hochauflösende Bilder von Wafermustern aufnehmen kann, die digitalisiert und im Speicher der Maschine gespeichert werden. Der Detektor mit KAMS-entwickelten Algorithmen ist eine integrierte Photometrie mit Teilwellenlängen, die verschiedene Sensoren zur Messung der Größe und Form von Wafermustern sowie zur Erkennung von Fehlern und Nichtkonformitäten verwendet. Schließlich ist die KAMS-Software das Gehirn des Modells und bietet leistungsstarke Analysen und die Fähigkeit, Muster schnell und detailliert zu analysieren. TENCOR SM 200 ist ideal für die Serienproduktion fortschrittlicher Halbleiterscheiben. Mit seinen fortschrittlichen analytischen Fähigkeiten kann es mehrere Substrate gleichzeitig genau messen und inspizieren, was konsistente Ergebnisse und Wiederholbarkeit liefert. Es verfügt auch über Funktionen, um die Bedienereingriffszeit zu reduzieren, wie automatische und halbautomatische Makros und die Möglichkeit, komplexe Messzyklen ohne manuelle Eingabe zu wiederholen. SM 200 bietet Benutzern Tools für die Präsentation von Daten auf dem Bildschirm, Fehlerwarnungen und Zugriff auf umfangreiche Service- und Supportpakete von PROMETRIX. Ein bemerkenswertes Merkmal ist seine modulare Metrologie-Suite, mit der Benutzer die Ausrüstung an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können. Benutzer können z. B. verschiedene erweiterte Analysetools hinzufügen, z. B. das Spectroscopic Mapping Package, das photometrische und spektrophotometrische Messungen zur Erkennung von Waferdefekten durchführt. Insgesamt ist das System PROMETRIX SM 200 eine gut entwickelte Lösung, die es Herstellern ermöglicht, hochwertige Wafer mit Sicherheit und Vertrauen in die von ihnen erzeugten Daten zu produzieren. Es bietet eine beispiellose Genauigkeit und Präzision mit einer einfachen Bedienung, die es perfekt für Serienprozesse geeignet macht.
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