Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX SM 300 #9105330 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine Reihe von Funktionen wie Oberflächenanalyse, Fehlerinspektion, Messtechnik und Fehlercharakterisierung durchführt. Das System besteht aus einem Scanner, einer deterministischen Wafer-Handhabungseinheit und einer Vielzahl von Optionen für kundenspezifische Anforderungen. KLA SM 300 nutzt für sein breites Aufgabenspektrum fortschrittliche Technologien. Es ist mit einem fortschrittlichen digitalen Mikroskop mit 5 Megapixel Auflösung ausgestattet. Auf diese Weise kann die Maschine verschiedene Operationen wie die Abbildung von Filmstrukturen, die Oberflächentopologie und die Fehlermorphologie durchführen. Das Mikroskop dient auch zur Messung der Schichtdicke und zur Auswertung der Mikrostruktur. Darüber hinaus verfügt TENCOR SM 300 über eine Mustererkennungsfunktion, die die Oberfläche des Wafers auf Oberflächenmängel und Defekte analysiert. Die Maschine ist in der Lage, kleine Defekte bei hohen Durchsätzen zu erkennen und kann zwischen verschiedenen Arten von Defekten unterscheiden. Dies hilft, Fehlstellen schnell zu erkennen und die Qualitätskontrolle zu verbessern. Das deterministische Wafer-Handhabungswerkzeug von SM 300 verfügt über zwei Stufen, eine' Etch Probing Stage' und eine' High-Resolution Inspection Stage'. Die Etch Probing Stage verfügt über eine hochauflösende bildgebende Anlagen- und Keilsondentechnologie, die eine Abbildung des Wafers unter der Oberfläche ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die hochauflösende Inspektionsstufe über eine berührungslose Technologie zur Abbildung feiner Strukturen und zur Messung des Profils des Wafers. PROMETRIX SM 300 ist in der Lage, detaillierte messtechnische Messungen wie Seitenverhältnismessungen, Profilmessungen, kritische Dimensionen und Mustermessgrößen bereitzustellen. Messtechnische Messungen dienen auch der Optimierung des Pass/Fail-Entscheidungsprozesses und der Verbesserung der Produktqualität. KLA/TENCOR/PROMETRIX SM 300 ist einfach zu bedienen und verfügt über intuitive Benutzeroberflächen, so dass es für jede Umgebung geeignet ist. Es enthält auch Kalibrierwerkzeuge für Genauigkeit und Präzision und bietet automatisierte Verfahren. Spezialisiertes Zubehör wie Partikelzähler und spezialisierte Softwarepakete stehen als Optionen für verbesserte Leistung zur Verfügung. KLA SM 300 ist ein hochentwickeltes Wafer-Test- und Metrologiemodell, das eine ganze Reihe von Funktionen für die Wafer-Sortierung, Fehlersuche und Messtechnik bietet. Die Ausrüstung ist schnell, zuverlässig und präzise und bietet eine einfache Möglichkeit der Qualitätsprüfung und Bewertung von Wafern.
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