Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #293587919 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300 ist eine vollständig integrierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um eine Vielzahl von elektrischen, optischen, physikalischen und chemischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementscheiben schnell zu messen. KLA SpectraMap SM 300 ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Produktionsumgebung und bietet ein hohes Maß an Genauigkeit und Präzision bei Messungen, Flexibilität, anspruchsvoller Automatisierung und niedrigen Betriebskosten. Das System sammelt Daten mit Silizium-Photonik-basierten Wandlern auf einer breiten Palette von Materialien, die eine effiziente Messung der optischen, elektrischen, chemischen und physikalischen Eigenschaften des Dünnfilms ermöglichen. Die Einheit ist auch in der Lage, 2D- und 3D-Abbildung von elektrischen Eigenschaften wie Bogenwiderstand, Stromdichte, Leckströme, dielektrischer Durchbruch, Oberflächenpassivierung und mehr. TENCOR SpectraMap SM 300 kann auch bei niedrigen Signal-Rausch-Verhältnissen sehr kleine Merkmale erkennen, was eine verbesserte Fehlerinspektion und Charakterisierung ermöglicht. PROMETRIX SpectraMap SM 300 bietet hervorragende Leistung in einer Reihe von Materialien wie Silizium, Galliumnitrid, Galliumarsenid, Siliziumgermanium sowie vielen anderen Materialien. Die Maschine kann elektrische Eigenschaften wie Spannung, Strom, I-V-Eigenschaften, Ladung, Dotierung, Dotierungskonzentration, dielektrischer Durchbruch und dunkler Sättigungsstrom messen. Es kann auch optische Eigenschaften wie Dicke, Brechungsindex, Bandlücke, Absorptionslänge und mechanische Eigenschaften wie Oberflächenrauhigkeit, Oberflächenreinheit und Haftfestigkeit messen. Um die Genauigkeit der Messungen zu gewährleisten, ist das Werkzeug mit einer Reihe von erweiterten Funktionen konzipiert. Dazu gehört eine direkte Fokus-Bildsensor (DFIS) -Kopplungseinheit, die eine Nanometer-Auflösung auf amorphen und kristallinen Materialien ermöglicht. Das Asset enthält auch Advanced Semiconductor Metrology (ASM) -Software zur automatisierten Erkennung und Ergebnisanalyse von Funktionen, ein Datenverwaltungsmodell für einfachen Datenabruf und eine niedrige Driftspannungsquelle zur Verringerung der elektrischen Variabilität. Schließlich verfügt das Gerät über eine breite Palette von Zubehör und Sonden sowie Bordcomputersteuerungen, die jedes Mal eine optimale Leistung gewährleisten. Insgesamt ist SpectraMap SM 300 ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messsystem, das entwickelt wurde, um eine breite Palette von elektrischen, optischen, physikalischen und chemischen Eigenschaften von Halbleiterbauelement-Wafern schnell und genau zu messen. Das intelligente Engineering und die ausgeklügelte Automatisierung machen es zu einer idealen Option für Produktionsumgebungen, die eine schnelle, zuverlässige Datenerfassung und umfassende Analyse ermöglicht.
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