Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX SpectraMap SM 300 #9204663 zu verkaufen

ID: 9204663
Film thickness mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX SpectraMap SM 300 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es liefert genaue Echtzeit-Informationen von Wafer-Oberflächenmessungen mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sein Design bietet erweiterte messtechnische Fähigkeiten und verbesserte Messleistung für Wafer-Fehlererkennung und Inline-Renditemanagement. Das System ist in der Lage, alles von herkömmlichen Prozessschritten bis hin zu den fortschrittlichsten 3D-inversen Lithographietechniken zu inspizieren. Es wurde entwickelt, um verschiedene Prozessschritte für komplexe Wafer-Muster zu optimieren. Merkmale wie variable Erfassungsgeschwindigkeiten, automatisiertes Fokusmapping und automatisiertes Tune-Matching optimieren die Oberflächen- und Topographiemessungen planarisierter oder nicht planarisierter Wafertopologien. KLA SpectraMap SM 300 verwendet proprietäre Designs und Algorithmen, um eine automatisierte Mesa-Erkennung, Eckenerkennung und andere Formen der Wafer-Fehleranalyse und -Charakterisierung zu erreichen. Das Gerät unterstützt auch eine Vielzahl von Inspektionsmodi, einschließlich Step-and-Repeat, Area-Scan, automatische und manuelle. Die Maschine bietet eine vollständige Palette von messtechnischen Testfunktionen, so dass der Benutzer Waferoberflächen schnell analysieren kann. Mit seiner schnellen optischen Verarbeitung bietet das Werkzeug eine schnelle und genaue Abbildung von Höhe, Dicke, Oberflächentopographie und den Eigenschaften von Wafermaterialien. Sie ist in der Lage, Fremdstrukturen, wie Unregelmäßigkeiten an der Ober- und Unterseite des Wafers, schnell zu erkennen, zu lokalisieren und zu klassifizieren. Der automatisierte SR3D (Structure Real-time 3D) Inspektionsmodus des Asset kann verschiedene Arten von Fehlern und Eigenschaften deutlich schneller erkennen als herkömmliche Methoden. Das Modell ist auch in der Lage, Echtzeit-Fehlerüberprüfung, automatische Archivierung von Ergebnissen und Bildern, sowie chemische und physikalische Analyse. TENCOR SPECTRAMAP SM300 ist eine sehr zuverlässige und kostengünstige Ausrüstung mit ausgezeichneter Leistung. Sein vielseitiges Design ermöglicht die Integration einer Reihe von zusätzlichen Funktionen, wie Elektronenstrahlprüfung und Nanofokus-Bildgebung. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und messtechnischen Möglichkeiten bietet das System perfekte Echtzeit-Waferinspektions- und messtechnische Lösungen.
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