Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751193 zu verkaufen

ID: 293751193
Weinlese: 1998
Film thickness measurement system 1998 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine umfassende Palette von Mess- und Analysewerkzeugen bietet. Mit einer Kombination aus ultraschnellen UV-Lasern und ausgefeilter Optik ist das System in der Lage, die Dicke und Topologie dünner Wafer bis 200 mm Durchmesser schnell und präzise zu messen. Das Gerät verwendet eine 150 kHz-Präzisionsverschiebungsmessmaschine (DMS), um eine präzise 2-Achsen-Abbildung der gesamten Waferoberfläche zu erhalten. Dadurch kann das Werkzeug kleinste Oberflächenfehler wie Kratzer und Verunreinigungen mit außergewöhnlicher Genauigkeit erkennen. Darüber hinaus ermöglicht diese Technologie schnelle und hochpräzise Messungen von Funktionsgrößen innerhalb weniger Nanometer-Auflösungsstufen. KLA UV 1050 bietet auch hochauflösende 3D-Topographie und Schritthöhenmessung über einen weiten Bereich von Winkeln und Anflugwinkeln auf Wafern bis 200 mm Durchmesser. Dadurch wird sichergestellt, dass etwaige Fehler korrekt erkannt werden können, um die höchste Qualität der Wafer zu gewährleisten. Das Asset eignet sich ideal zur Automatisierung des Prozesses für große Fertigungsanwendungen mit seiner Fähigkeit, sich über eine standardisierte Bewegungsflächenplatte in werkseitige Geräte zu integrieren. Dies gewährleistet eine genaue und konsistente Datenerfassung für die Massenproduktion. TENCOR UV-1050 bietet auch eine Reihe von Messwerkzeugoptionen, die eine maßgeschneiderte Herangehensweise an jedes Produkt ermöglichen. Dazu gehören verschiedene Größen und Arten von Belichtungskopf- und Messtechnik-Palettenoptionen, die eine breite Palette von Wafergrößen und -prozessen aufnehmen. Das Modell läuft auf einem umfassenden Steuerungssoftware-Paket, das eine einfach zu bedienende Schnittstelle bietet. Die Software bietet eine grafische Visualisierung von Wafer-Kanten- und Edge-Profile-Daten, wodurch es einfacher ist, spezifische Fehler zu ermitteln und Probleme zu beheben. In Bezug auf die Sicherheit erfüllt TENCOR UV 1050 alle Industriestandards, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Feldbussicherheit, Maschinensicherheit und Vibrationsschutzanforderungen. Darüber hinaus wurde das Gerät mit intuitiver mechanischer Bedienung und branchenüblichen Sicherheitsstandards konzipiert, die es sicher und einfach zu bedienen machen. Insgesamt ist UV 1050 ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messsystem, das präzise und genaue Messungen für eine breite Palette von Wafergrößen und -prozessen bietet. Mit einfacher Maschinenbedienung und branchenüblichen Sicherheitsstandards stellt das Gerät konsistente und zuverlässige Daten für alle Produktionsanforderungen bereit.
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