Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293751596 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
ID: 293751596
Wafergröße: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die hohe Präzision, Genauigkeit und schnellen Durchsatz für die Herstellung von Halbleiterbauelementen bietet. Dieses System verwendet eine Tiefen-Ultraviolett-Beleuchtung für Wafertests und Messtechnik und eignet sich daher gut für Anwendungen wie Dünnschichtmesstechnik und Rauheitsmessungen. Dieses Gerät soll Herstellern helfen, die Qualität zu maximieren und gleichzeitig die Kosten zu senken. KLA UV 1050 verwendet Mehrwellenlängen-Messtechnik auf Basis verschiedener ultravioletter (UV) Lichtquellen, einschließlich eines Dreiwellenlängen-Krypton-Fluorid (KrF) -Lasers und eines Doppelwellenlängen-ArF-Lasers. Die KrF-Laser sind in der Lage, eine höhere Genauigkeit als herkömmliche Messtechnik für sichtbares Licht zu erreichen. Die ArF-Laser werden verwendet, um Schlüsselparameter in Bezug auf Foliendicke und Gleichmäßigkeit zu erfassen. Diese beiden Lasertypen bieten eine breite Palette von Steuerungs- und Testfunktionen, um den Anforderungen einer Vielzahl von Produktionsprozessen gerecht zu werden. TENCOR UV-1050 umfasst auch eine ausgeklügelte Softwaremaschine zur Erfassung, Steuerung und Analyse von Daten aus dem Wafer-Test- und Messtechnik-Prozess. Diese Software kann verwendet werden, um Waferbearbeitungsparameter zu überwachen und anzupassen, um das Produkt von höchster Qualität zu garantieren. Es enthält mehrere Komponenten, wie eine grafische Benutzeroberfläche (GUI), Datenerfassung, Wafer-Mapping und Fehleranalyse sowie ein Berichtsgenerierungs-Tool. Zu den Hardwarekomponenten von UV 1050 gehören eine hochauflösende Kamera, ein optischer Kompensator und eine Probenkammer. Die Kamera erfasst das vom Wafer reflektierte Licht und dient zur Messung von Parametern wie Filmdicke und Gleichmäßigkeit. Der optische Kompensator passt den Weg des Lichtstrahls an, um die Genauigkeit der Messungen zu erhöhen. Zusätzlich schafft die Probenkammer die für den Prüf- und Messtechnik-Prozess optimale Umgebung. PROMETRIX UV-1050 ist ein leistungsstarkes Wafer-Test- und Messtechnik-Modell, das außergewöhnliche Ergebnisse für die Herstellung von Halbleiterbauelementen liefern kann. Seine robuste Hardware und fortschrittliche Software ermöglichen hohe Genauigkeit und schnellen Durchsatz, während die Laser präzise und fehlerfreie Ergebnisse garantieren. Mit all diesen Eigenschaften ist UV-1050 ein ideales Werkzeug zur Qualitätskontrolle und Qualitätssicherung in der Halbleiterindustrie.
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