Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #293811723 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur hochpräzisen Dimensionsanalyse von Halbleiterscheiben. Es ist ein vielseitiges, leistungsstarkes System, das schnelle und genaue Messungen mit wiederholbaren Ergebnissen liefert. Das Gerät arbeitet mit einer Kombination aus optischen, interferometrischen und motorisierten Scantechniken, um Waferfunktionen zu analysieren. Speziell verwendet es eine nahinfrarote Laserlichtquelle für Beugungsmessungen, Interferometrie zur Messung winziger Merkmale und eine motorisierte Abtaststufe für größere Merkmale. Die Laserlichtquelle emittiert ein breites Lichtspektrum, das dann durch eine Reihe von Blenden und Linsen fokussiert wird. Letztendlich wird sie auf die Waferoberfläche fokussiert. Dieses Licht erzeugt ein Interferenzmuster, das dann verwendet wird, um die Form und Größe der Strukturen auf der Waferoberfläche zu messen. Die Maschine ist auch mit einem Interferometer mit niedriger Kohärenz ausgestattet, mit dem mikroskopische Merkmale wie Gruben und Stufen gemessen werden. Diese interferometrische Messung basiert auf dem Prinzip der Phasenverschiebung: Das vom Merkmal reflektierte Licht wird gemessen und mit der Startphase verglichen. Die Differenz der beiden Werte ist proportional zur tatsächlichen Größe des KE. Schließlich enthält das Werkzeug eine motorisierte Abtaststufe, die es ermöglicht, größere Merkmale genau zu messen. Die Abtaststufe bewegt die Probe kontrolliert, während sie mehrere Messungen durchführt und kombiniert, um genauere Ergebnisse zu erzielen. Alle drei dieser Messtechniken kombinieren eine umfassende Analyse der Wafer-Funktionen, so dass Benutzer Form, Größe, Position, Oberflächentopographie und mehr bestimmen können. KLA UV 1050 ist in der Lage, Funktionen bis zu 5 nano-Meter in der Größe zu messen, so dass es die anspruchsvollsten Wafer zu analysieren. Neben seinen überlegenen Messfähigkeiten bietet das Asset auch eine Reihe von Vorteilen. Es ist mit einem robusten Bewegungssteuerungsmodell ausgestattet, das schnelles Scannen und hohe Genauigkeit bietet und für Messungen mit hohem Durchsatz geeignet ist. Es hat auch eine geschlossene Luftlagerstufe, die sicherstellt, dass die Probe stabil ist und hilft, Fehler zu reduzieren und die Genauigkeit zu verbessern. Insgesamt ist TENCOR UV-1050 eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle und zuverlässige Methode zur Analyse von Halbleiterscheiben bietet. Mit seiner Kombination aus optischen, interferometrischen und motorisierten Scantechniken ist es eine ideale Wahl für eine Reihe von Anwendungen.