Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9031773 zu verkaufen

ID: 9031773
Film thickness measurement tool.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist ein Wafer Testing and Metrology Equipment, das entwickelt wurde, um schnelle, genaue und zuverlässige Wafer-Test- und Messergebnisse zu liefern. Es wurde entwickelt, um ausgangsbasierte Tests und Messtechniken oder „OIM“ zu unterstützen und bietet eine strenge Leistungsoptimierung und Kapazitätssicherung für eine Vielzahl von Prozesstechnologien, einschließlich Lithographie, Abscheidung, Ätzen, Planarisierung und Post-Process-Messtechnik. KLA UV 1050 beinhaltet eine Unterdruck (LV) Messtechnik-Kammer für zerstörungsfreie, hochauflösende 2D-Bildgebung, 3D-Profilscannen und Brechungsindex (RI) Messtechnik. Das System umfasst auch eine ultraviolette Lichtquelle für den Einsatz in Photoresist und anderen Wafer-Oberflächenbildanwendungen. Die LV-Kammer ist für die strukturierte Wafer-Bildgebung optimiert und kann die kritischen Abmessungen (CD) für eine Vielzahl von CD-Messtechnik-Aufgaben genau messen. Das Gerät ist für den zuverlässigen Betrieb in rauen Fertigungsumgebungen ausgelegt und kann Variationen in Temperaturen, Drücken und Beschleunigungsprofilen bewältigen. TENCOR UV-1050 enthält auch eine patentierte Kalibrierungsstandard (CALIBRATE) und SLO-MATCH-Technik (SLO-MATCH), die eine schnelle und genaue Charakterisierung verschiedener Aspekte der Produktqualität und -leistung ermöglicht und in der Lage ist, mehrere CD-Messungen mit einer einzigen Exkursion durchzuführen. Dies ermöglicht eine gründliche und kontinuierliche Qualitätsbewertung in Prozesskammern mit hohem Durchsatz. Die Maschine kann mit einer breiten Palette optionaler Komponenten ausgestattet werden, die eine verbesserte Datenerfassung und -analyse ermöglichen. Dazu gehören verschiedene Linearitätskorrekturmodule, erweiterte Driftkompensationsalgorithmen und verschiedene Sondenauswahloptionen, einschließlich Kontaktsonden, Abtastsonden und kontaktlose Sonden. Darüber hinaus unterstützt das Tool auch erweiterte Quell- und Detektorverbindungen und ist mit der aktuellsten Masken-, Wafer-, Film- und Reticle-Software kompatibel. KLA UV-1050 entspricht den gängigsten Industrieteststandards, einschließlich SEMI, ISO und MIL-Standard Testanzug. Damit eignet sich die Anlage für den Einsatz in verschiedenen Branchen wie der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Luftfahrtindustrie. Dieses Modell bietet Anwendern eine einzige Testquelle für alle wichtigen Prozesstechnologien und macht dedizierte Testquellen und Hardware überflüssig. Dadurch wird der Produktionsprozess gestrafft und die Kosten gesenkt.
Es liegen noch keine Bewertungen vor