Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9182564 zu verkaufen
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ID: 9182564
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1997
Film thickness measurement system, 4"-8"
Handling robot: H2
Stage resolution: XY-0.25μm, Z-0.025μm
Source: Broadband xenon lamp (250nm to 750nm)
Imaging system: Color camera with pattern rec (COGNEX System)
PC: Intel P3 450MHz
OS: Summit 2.4 based on Windows NT4.0
SECS II Interface
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es wurde entwickelt, um zuverlässige und wiederholbare Messungen sowohl dünner als auch ultradünner Wafer bereitzustellen. Es ist in der Lage, verschiedene Parameter zu messen, wie Widerstand, Dicke, Topographie und Zusammensetzung. Dieses System verwendet die Rasterelektronenmikroskop (SEM) -Technologie und eine Reihe von Detektoren, um die messtechnischen und elektrischen Eigenschaften dünner und ultradünner Proben genau zu messen. Eine Vielzahl von Sub-Sampling-Tools stehen zur Verfügung, um eine Reihe von Parametern zu messen, einschließlich Widerstand, Topographie und Leistung. Das Gerät ist mit einem variablen Hochgeschwindigkeits-XY-Scan zur Reduzierung der Testzeit und einer variablen Winkelplattform mit variabler Schrittweite ausgestattet. Die Winkelplattform ist in der Lage, verschiedene Winkel auszuwählen und so detailliertere Topographiekarten zu erstellen. Die Maschine verfügt auch über zwei Kameras mit variabler Vergrößerung, so dass Benutzer auf Details von verschiedenen Bereichen zu vergrößern. KLA UV 1050 kommt auch mit einem Mikroskop ausgestattet, entworfen, um Benutzer mit sehr detaillierten Bildern einer Probe zur Verfügung zu stellen. Darüber hinaus bietet das Tool auch spektroskopische Möglichkeiten, so dass eine Reihe von Messungen durchgeführt werden können. Diese Anlage ist in der Lage, dünne und ultradünne Wafer mit einer Dicke von bis zu 500 nm zu messen. Das Modell bietet auch ein eingebautes Thermoelement, das zur Temperaturmessung verwendet werden kann. Der Ausgang des Thermoelements wird in ein Amplituden- oder Frequenzsignal umgewandelt, welches wiederum zur Messung verwendet wird. Mit seinen Messfähigkeiten ist TENCOR UV-1050 ein hervorragendes Werkzeug für Forscher und Labore, die wiederholbare und zuverlässige Messungen wünschen. Darüber hinaus bietet die Ausrüstung ein hohes Maß an Flexibilität, so dass Benutzer das beste Werkzeug für den Job auswählen können. Als solches ist es ein wesentliches Werkzeug für diejenigen, die Präzisionsmessungen von dünnen und ultradünnen Wafern benötigen.
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