Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9185804 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050
Verkauft
ID: 9185804
Wafergröße: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die die Qualitätssicherung und Prozessoptimierung von Halbleitern automatisiert. Es ist ein konfigurierbares Mehrfachanwendungs-Inspektionssystem, das zwei Technologien für High-Fidelity-Bildgebung und simultane kapazitive Sonden für präzise Messungen kombiniert. Diese Einheit ist in der Lage, submikrongroße Merkmale auf Halbleiterscheiben schnell und präzise zu überprüfen und zu messen. KLA UV 1050 verwendet eine proprietäre fertige Bildmaschine (FIS), um grobe oder feine Bildgebungsfunktionen bereitzustellen. Seine FIS verwendet ultraviolettes (UV) Licht, das eine optische Detektion von metallischen und nichtmetallischen Strukturen auf einem Siliziumwafer ermöglicht. Da UV-Licht eine kürzere Wellenlänge als sichtbares Licht hat, ist diese Maschine in der Lage, Merkmale zu erkennen, die viel kleiner sind als bei herkömmlichen Inspektionstechniken. Darüber hinaus verfügt dieses Tool über eine Multi-Kamera-Architektur, die beide Seiten eines Wafers mit Belichtungsfeldkompensation inspizieren kann, um ein konsistentes Bild aus beiden Perspektiven zu gewährleisten. Zusätzlich werden kapazitive Sonden in TENCOR integriert UV-1050 um die Dicke von Drähten genau zu messen. Durch den Einsatz kapazitiver Messsysteme lassen sich Qualitätsmessungen schnell und kostengünstig durchführen. Darüber hinaus ermöglichen die Sonden die Rezeptoptimierung auf Waferebene, um sicherzustellen, dass Prozesse effizient optimiert werden. PROMETRIX UV-1050 ist in der Lage, die Wafergeometrie mit hoher Präzision zu messen, zu überwachen und zu steuern. Es verfügt über eine integrierte Steuerung, die einfach zu bedienen und robust ist, so dass es ideal für den Einsatz in qualitativ hochwertigen Prozesskontrollsystemen ist. Es verfügt auch über eine erweiterte automatisierte Überwachungsfunktion, die es ermöglicht, frühe Prozessprobleme zu erkennen, nicht spezifizierte Ergebnisse zu identifizieren und Benutzer auf potenzielle Ertragsprobleme in Echtzeit hinzuweisen. Schließlich verfügt TENCOR UV 1050 über ein leistungsfähiges, aber intuitives Softwareprogramm, mit dem Benutzer schnell und einfach individuelle Inspektionsrezepte erstellen können. Es umfasst auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche und ein umfassendes Reporting-Modell, mit dem Benutzer Inspektionsergebnisse in einer Vielzahl von Formaten anzeigen und analysieren können. Insgesamt ist KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050 eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die präzise Messungen und High-Fidelity-Bildgebung mit einer schnellen Rate bietet. Seine Kombination aus optischer Bildgebung und kapazitiven Sonden machen es ideal für die Qualitätskontrolle und kontinuierliche Verbesserung.
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