Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9310905 zu verkaufen
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ID: 9310905
Thin film measurement system
Amorphous silicon
Oxide on aluminum
Oxide on tungsten
Transparent on transparent
Oxide on poly
Thickness range:
125 A to 250 A ±2.5 A
250A to 1.0 µm i1%
Throughput:
(90) Monitor wafers per hour, 8"
(75) Pattered wafers per hour, 8"
Pre-programmed focus
(39) Patterned wafers per hour, 8" auto focus
Absolute accuracy:
Measurement time: 1.5-5 seconds typical per site
Mapping:
Die, Contour, 3-D.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 Equipment ist eine hochmoderne Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung für Halbleiterhersteller. Das System bietet die neuesten Technologien für Fehlerinspektion, Dicke und Funktionsmesstechnik sowie Prozessmanagement. Die UV 1050-Einheit von KLA umfasst eine Reihe von proprietären und branchenführenden Technologien, Software und Services und bietet eine integrierte Lösung, die für einen hohen Waferdurchsatz und geringere Ausfallzeiten ausgelegt ist. TENCOR UV-1050 Maschine verfügt über modernste Technologien wie ein 2x2 CCD-Bildgebungswerkzeug, ultrarauscharme und auflösende CCD-Kamera, fortschrittliche Beleuchtungssysteme, Fluoroskopie und PC-basierte Prozesssteuerung. Diese Anlage ist speziell auf die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie ausgelegt. Das Modell ist auch mit einer Vielzahl von Optionen wie automatisierte Ausrichtung und Bildgebung, eine manuelle Bildverarbeitungsstufe, automatisierte Prozesssteuerung und Rezeptmanagement und andere erweiterte Funktionen ausgestattet. Darüber hinaus ermöglicht die Ausrüstung die Integration mit anderen Geräten wie Messtechnik, Reinigung, Fehlerinspektion und Abscheidungssysteme. Das PROMETRIX UV-1050 System umfasst auch eine fortschrittliche UV-Inspektionsbeleuchtung, die für einen hohen Waferdurchsatz bei gleichzeitig extrem geringer Rauschempfindlichkeit ausgelegt ist. Diese Maschine bietet eine genaue Fehlerpositionierung und Maskeninspektion bei gleichzeitiger Kompensation der ungleichmäßigen Bestrahlung über die Waferoberfläche. Darüber hinaus bietet das Tool eine präzise Beleuchtung, winkelabhängige Verlustmessung und flexible Automatisierungsfähigkeit für die manuelle In-Asset-Wafer-Ausrichtung. KLA UV-1050 Modell bietet hohe Durchsatzfehler Inspektionsmöglichkeiten mit einer Integration von Zieltabellen und Bildverarbeitungstechniken. KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1050 Ausrüstung verfügt auch über ein innovatives „Across Wafer Uniformity“ System, um genaue messtechnische Messungen zu gewährleisten. Diese Einheit wurde speziell entwickelt, um die Gleichmäßigkeit, Fehlerempfindlichkeit und Messungen kritischer Abmessungen entlang aller Teile der Waferoberfläche zu messen. Darüber hinaus verwendet die Maschine eine Reihe proprietärer Algorithmen, um die Fehlererkennungsgenauigkeit zu erhöhen, falsche Erkennungen zu minimieren und mögliche Fehler zu beseitigen. Insgesamt ist TENCOR UV 1050 Tool eine umfassende Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung, die den strengsten Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es integriert sowohl branchenführende Technologien als auch proprietäre Technologien, um genaue Fehlerinspektionsfunktionen mit hohem Durchsatz bereitzustellen. Darüber hinaus bietet es fortschrittliche Ausrichtungs- und Bildverarbeitungstechniken sowie über Wafer-Gleichmäßigkeitssysteme hinweg, um eine genaue Messung der Einheitlichkeit der Funktionen und Messungen kritischer Dimensionen zu ermöglichen.
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