Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1050 #9377287 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1050 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die fortschrittliche UV-Bildgebungstechnologien verwendet, um Halbleiterscheiben auf Fehler, Mängel und Ungleichmäßigkeiten zu bewerten. Die Systemvereinigungen genaue, schnelllaufende Volloblatenbildaufbereitung mit einer niedrigen leichten Intensitätsquelle, um minortopographical Unregelmäßigkeiten über die komplette Oblate zu entdecken. Die primäre bildgebende Komponente des Geräts ist eine 8x Vollfeldkamera mit treibergesteuerter Vergrößerung (von 3X bis 40X). Es kann sowohl Flächen- als auch Kantenkonturdaten erfassen, um Flächenmerkmale mit einer Breite von 0,5 Mikron zu identifizieren. Die Kamera ermöglicht auch Farbabbildungen zur einfachen Erkennung von Merkmalen. Zusätzlich unterstützt die Maschine die Prozessüberwachung, indem sie das Vorhandensein von Oberflächenmerkmalen auf dem Wafersubstrat automatisch erkennt. Das Werkzeug verfügt über eine zum Patent angemeldete UV-Bildgebungstechnologie, die die Fehlercharakterisierung und bildgebende Auflösung verbessert, indem der Waferdurchsatz verbessert und gleichzeitig den Lichtenergiebedarf um das 10-15-fache reduziert wird. Die UV-bildgebende Anlage liefert Informationen über die Analyse der kleinsten Fehler, die die Leistung des Halbleiterbauelements beeinflussen können. Das Modell ermöglicht es Benutzern auch, eine Vielzahl von messtechnischen Messungen durchzuführen, einschließlich topographischer Messungen der Oberflächen- und Musteruniformität, Widerstandsmessung für Fehleranalysen, Substratgleichförmigkeitsmessungen und Nuttiefe (zum Verständnis von Konstruktionsproblemen). Das Gerät enthält auch eine Reihe von erweiterten Softwarepaketen für die Analyse, Präsentation und Archivierung von Daten. Fortschrittliche Software ist für digitale Bildverarbeitung, 3D-Oberflächenmapping, Fehlerüberprüfung, Datenvergleich und Inspektionsautomatisierung konzipiert. Eine intuitive grafische Benutzeroberfläche vereinfacht die routinemäßige Bedienung und Datenvisualisierung, sodass der Benutzer Daten einfach analysieren und präsentieren kann. Zusammenfassend ist KLA UV 1050 ein hochentwickeltes Wafertest- und Messtechniksystem, das leistungsstarke UV-Bildgebungstechnologie in ein kompaktes Design verpackt. Es bietet ultrahochauflösende Oberflächenbildgebung, verbesserte Fehlererkennungs- und Charakterisierungsfunktionen, messtechnische Anwendungen für die Prozessüberwachung und Softwarepakete für Datenanalyse, -präsentation und -speicherung. Diese Einheit ist ideal für Halbleiterhersteller, die ein leistungsstarkes und zuverlässiges Werkzeug benötigen, um Qualitätsleistung zu gewährleisten.