Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9115152 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
ID: 9115152
Weinlese: 1999
Film thickness measurement tool.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080 „Wafer Testing and Metrology“ ist ein hochpräzises Hochgeschwindigkeitsstück der Präzisionstechnik, das die fortschrittlichen Technologien der optischen Schichtmessung, 3D-Oberflächenprofilbildgebung, integrierte Streuung und totale Reflexionsfluoreszenz (Txrone) kombiniert. Die integrierte Messplattform für optische Schichten verwendet fortschrittliche bildgebende Technologien, um Schichtdicke, Zusammensetzung, Brechungsindex und Oberflächentextur von Halbleiterstapeln und Wafern genau zu messen. Die kombinierte 3D-Oberflächenprofil-Bildgebung und integrierte Streumetrie-Technologien ermöglichen es dem KLA UV 1080 System, Parameter wie optisch gemessene Oberflächenrauhigkeit, Form und Textur von Halbleiterstapeln zu messen. Die TXRF-Technologie misst die Elemente im Wafer und Stack, und die vollständigen Messergebnisse umfassen die elementare Zusammensetzung und die Menge der Elemente. Dies ermöglicht einen Vergleich mit der gewünschten Spezifikation. Der Vorteil der TENCOR- UV-1080-Einheit besteht darin, dass sie in der Lage ist, sehr geringe Schwankungen der Schichtdicken und Oberflächenstrukturen im Vergleich zu anderen Verfahren, wie Lichtstreuung, zu erkennen und zu unterscheiden. Die Kombination dieser Technologien in der PROMETRIX UV-1080 Maschine führt zu der kombinierten Geschwindigkeit und Genauigkeit der Oberflächenanalyse. Dies ermöglicht eine Echtzeit-Rückkopplung bei der Entwicklung extrem präziser Halbleiterstapel. Die integrierte Scatterometry-Software verfügt über KI-Fähigkeiten, um eine Reihe von Spektren zur optimalen Auslese der zu messenden Informationen zu erzeugen. Das Werkzeug verfügt über eine hochauflösende Kamera und eine automatisierte Probenhandhabung, die Messungen in der Nähe von Feld und Fernfeld ermöglichen. In Kombination mit der optischen Schichtmessung eignet sich KLA/TENCOR/PROMETRIX UV-1080 Modell für eine Vielzahl von Anwendungen wie Waferprozessentwicklung und -charakterisierung, Linienbreitenmessungen, Charakterisierung von Gleichmäßigkeit, Schnitt-/Ätztiefenmessungen und Fehlerinspektion. KLA UV-1080 Geräte sind ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug zur Durchführung hochwertiger Messungen für Halbleiterstapel und Waferanwendungen. Die Kombination aus modernsten Technologien, Genauigkeit und Geschwindigkeit ermöglichen eine effiziente und genaue Oberflächenanalyse während der Wafer- und Stapelentwicklung.
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