Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9217742 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
Verkauft
ID: 9217742
Thin film measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion und Analyse von Halbleiterbauelementen nach der Herstellung. Es nutzt fortschrittliche Bildgebungstechnologie und hochleistungsfähige Algorithmen, um Fehler auf Nanometerebene über eine breite Palette von Wafergrößen, -formen und -materialien abzubilden, zu messen und zu kategorisieren. Das System verfügt über einen Hochleistungs-UV-Laserbildkopf mit 100 Watt, um genaue 3D-Bilder der Substratoberfläche zu erfassen. Mittels spektraler Bildgebung kann das Gerät sowohl dunkle als auch helle Defekte in optisch transparenten Materialien wie SU-8 erkennen. Der 1080 ist mit fortschrittlichen motorisierten Stufen für genaue In-Chip-Düsenmessungen und Fehlererkennung bei Vergrößerungen bis 1000X konstruiert. Die Maschine bietet intuitive Bildaufnahmesteuerungen zur Aufnahme hochauflösender Bilder, die nebeneinander Vergleiche ermöglichen. Der 1080 bietet zudem eine nahtlose Integration in standardformatige CAD-Bibliotheken und Gerätemodelle, um genaue Histogrammdaten und Fehlerortungsabbildungen mit Nanometergenauigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus kann das Werkzeug eine Vielzahl von Parametern messen, einschließlich Oberflächenrauhigkeit, Fehlerbereich und Tiefe. Darüber hinaus bietet das Asset eine umfassende Palette von Tools zur Überprüfung, Analyse und Behebung von Fehlern. Das Modell KLA 1080 wurde für die schnelle und genaue Quantifizierung von Fehlern für alle Phasen der Geräteherstellung und -prüfung entwickelt. Es bietet Fehlerauflösungsfunktionen, um die Wiederholbarkeit von Prozessen zu überprüfen und Risiken im Zusammenhang mit Herstellungsprozessvariabilität und Material zu reduzieren. TENCOR 1080 ist ideal für die Bewertung und Fehlerbehebung von Ertrags- und Ertragsverlustproblemen sowie für die Implementierung von SPC-Prozessen. Es verfügt über schnelle und genaue Fehlerbilder, Erkennung und Quantifizierung sowie leistungsstarke Tools für Datenanalyse, Berichterstattung und Präsentation. Darüber hinaus verfügt die Ausrüstung über eine automatisierte Waferausrichtung für Hochgeschwindigkeits-Scanning, optionale Wafer-Handler für Durchsatzverbesserungen und verbesserte Die-to-Die-Uniformität.
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