Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9268146 zu verkaufen

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ID: 9268146
Wafergröße: 6"-8"
Thin film measurement system, 6"-8" Computer: Intel Pentium III Operating system: Windows NT (2) Open cassette stations PRI / EQUIPE Pre-aligner (Auto-find notch flat).
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die ultraviolette (UV) Strahlung verwendet, um Wafer oder Halbleiterchips für verschiedene Parameter zu messen. Es nutzt seine beiden fortschrittlichen optischen Systeme - die UV-Quad-Zelle und die UV-Dual-Zelle. Das Quad-Cell-System besteht aus vier Detektoren, die jeweils getrennt unterschiedliche Eigenschaften einer Probe messen, einschließlich Topographie, CD-Wert, Steigung und Schärfe. Die zweite UV-Doppelzelleneinheit besteht aus zwei Detektoren, die die Positionsverschiebung (X-Y) der Probe messen. Die UV-Strahlung der Maschine hat schnelle Wellenlängen-Schaltzeiten und hochpräzise Daten für genaue Messungen. Auf diese Weise kann der Anwender verschiedene Defekte an Waferoberflächen wie Nadellöcher, Hügellöcher und Kratzer erkennen. Es ist auch ideal für die Bestimmung von Variationen in kritischen Dimensionen (Cd) und Durchführung von Thin Film topologische Analyse. Darüber hinaus können Benutzer Materialzusammensetzung, Stress, Ebenheit, Überlagerung und Kohlenstoffkontamination analysieren. KLA UV 1080 bietet einen großen Winkelbereich für einfaches Scannen und kann mehrere Ziele unterschiedlicher Komplexität bei Geschwindigkeiten von bis zu 150 Wafern pro Stunde messen. Das Werkzeug verfügt zudem über eine eingebaute Wafer-Handhabung, die manuelle Bedienungen minimiert und nur eine regelmäßige Wartung für einen zuverlässigen Betrieb erfordert. Darüber hinaus kann die Anlage an spezielle Messanforderungen angepasst werden, z.B. können zur Steigerung des Bedienkomforts weitere Komponenten wie ein Autoloader einbezogen werden. Um das Potenzial des Modells voll auszuschöpfen, kann es in industrielle Automatisierungs- und Steuerungssysteme integriert werden, was es zu einem großartigen Werkzeug für Produktions- und Forschungsanwendungen macht. Seine Datenerfassungsfunktionen und Datenanalysefunktionen werden über die Software KLA Worksite NT ermöglicht. Diese voll ausgestattete Software enthält intuitive, anpassbare Schnittstellen und unterstützt mehrere Wafer-Lade- und Scanvorgänge. Die Ausrüstung ist auch mit SMEMA (Surface Mount Equipment Manufacturers Association) Protokoll und ELPHY + Kontrollprotokoll Standards konform. Insgesamt ist TENCOR UV-1080 ein effizientes, genaues und robustes Wafertest- und Messtechniksystem, das schnelle, zuverlässige Ergebnisse liefert und eine große Investition für die Halbleiterindustrie darstellt.
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