Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080 #9269382 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1080
Verkauft
ID: 9269382
Weinlese: 1999
Thin film measurement system 1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1080 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die für Hochleistungs- und Präzisionsanwendungen entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, bis zu 1080 Bilder gleichzeitig für eine schnelle Fehlerinspektion und genaue Messungen von Merkmalen auf Wafern zu erfassen. Das Gerät verfügt über eine extreme ultraviolette (EUV) Quelle, die eine überlegene Auflösung bei der Abbildung bei tiefen Submikron-Funktionsgrößen bietet. Die 10-x-Zoomoptik und die 5-Achsen-Tabelle bieten eine Reihe von Feldgrößen und Auflösungsstufen, die eine schnelle und genaue Datenerfassung ermöglichen. Die Maschine verwendet fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen, um Fehler genau zu erkennen und zu charakterisieren. Dieses Tool ist in der Lage, eine automatisierte Fehleranalyse durchzuführen, die eine detaillierte Analyse und Meldung der festgestellten Fehler ermöglicht. Das Asset hat die Fähigkeit, Fehler mit dem Prozessverlauf zu korrelieren, so dass Ursachenuntersuchungen rechtzeitig abgeschlossen werden können. Darüber hinaus kann das Modell verwendet werden, um sowohl Substrate als auch ICs mit sehr hoher Präzision zu bewerten. Das Gerät bietet auch erweiterte Datenerfassungsfunktionen, die die Erfassung kompletter Wafermessungen ermöglichen. Dies beinhaltet die Möglichkeit, kritische Parameter wie CD, Overlay, kritische Dimension, Reticle oder Netzwerkänderungen zu messen. Das System ist zudem sehr modular aufgebaut und ermöglicht eine erhöhte Flexibilität und Anpassung in den Bereichen optische Leistung, Bildanalyse und Datenerfassung. UV 1080 wurde für niedrige Partikel- und Defektzahlen konzipiert, um sicherzustellen, dass Wafer frei von Kontaminationen sind und Anomalien leicht erkannt werden können. Zusätzliche Funktionen wie kurze Zykluszeit und minimierte Ausfallzeiten durch automatisierte Werkzeugreparatur helfen, Bearbeitungszeit und -kosten zu verringern. Auch der Wartungsaufwand wird reduziert, da das Gerät eine Ferndiagnose und eine benutzerfreundliche Oberfläche bietet. Zusammenfassend ist TENCOR UV-1080 eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Maschine, die eine hervorragende Leistung bietet. Sein flexibles Design und seine Reihe von Funktionen helfen, eine komplette Lösung für Waferinspektions- und Messanwendungen zu bieten. Sein schlankes Design reduziert Ausfallzeiten und Verarbeitungskosten und garantiert gleichzeitig überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit.
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