Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250 #9312897 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Inspektion integrierter Schaltungen auf einem einzigen Wafer. Es ist in der Lage, bis zu 1250 einzelne Stellen auf jedem Wafer zu probieren, was eine hochgradig maßgeschneiderte und genaue Analyse über eine breite Palette von Parametern ermöglicht. Die kritische Komponente des Systems ist seine ultraviolette Lichtquelle, die sowohl laserinduzierte Fluoreszenzkopplung (LFF) als auch Autofluoreszenzkopplung (AFM) Technologie verwendet. Insbesondere verwendet die Einheit Photonen eines UV-Spektrums, um Merkmale und Merkmale auf der Oberfläche des Wafers anzuregen und zu untersuchen. Durch LFF kann die Maschine die Dicke dünner Isolierschichten auf der Oberfläche bestimmen. Diese Informationen werden dann verwendet, um das Vorhandensein oder Fehlen potenzieller Mängel, sogenannte „fehlerfreie“ Bereiche, zu identifizieren. Das Tool bietet auch hervorragende anwendereinstellbare troposphärische optische Optionen. Diese Einstellungen dienen dazu, Oberflächenreflexionen zu reduzieren, den Kontrast auf Wafer-Bildern zu optimieren und Funktionen auf dem Wafer besser zu quantifizieren. Der automatisierte optische Aufbau ermöglicht unterdessen eine schnelle Optimierung von Beleuchtungswinkel und Arbeitsabstand, so dass für eine optimale Leistung über die gesamte Oberfläche des Wafers nur eine minimale Anpassung an die optischen Elemente erforderlich ist. Neben den optischen Komponenten nutzt das Asset auch eine automatisierte Bühne, ein motorisiertes Wafer-Spannfutter und einen Motion Controller. Diese Kombination von Hardware sorgt dafür, dass der Wafer immer optimal für die Messung positioniert ist, da der gesamte Wafer stationär bleibt, während das Mikroskop über ihn scannt. Darüber hinaus ist das Wafer-Futter speziell dafür ausgelegt, dass während des Abtastvorgangs keine Vibrationen oder Fehlstellungen auftreten. Schließlich enthält das Modell eine spektrale Bildgebungssoftware, die in der Lage ist, eine Reihe von Bildanalysen durchzuführen. Dazu gehören 2D-Bildnähte, Sub-Pixel-Registrierung und bildbasierte Fehlerklassifizierung. Eine solche Analyse ermöglicht eine Präzisionsanalyse bis zum Mikroniveau, die eine hochgenaue Analyse der Waferleistung ermöglicht. Abschließend ist KLA UV 1250 Wafer Testing and Metrology Equipment ein unverzichtbares Werkzeug für Wafer-Tests und bietet beispiellose Genauigkeit und Auflösung. Mit seiner Kombination aus Lasern, optischen Elementen, automatisierter Bühne und spezialisierter Software ermöglicht das System eine sehr detaillierte Analyse integrierter Schaltungen auf einem einzigen Wafer.