Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1250SE #9220778 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9220778
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Measurement system, 8"
Hardware configuration:
Main body:
Patterned wafer thickness measurement, 8" wafer
Install type: Stand-alone
Source: XENON Arch lamp
Handler:
H2, 8"
Robot & pre-aligner
Straight type fingers
Facilities:
CDA: >100 PSi (1/4" Swagelock connection)
Vacuum: >-25 inHg (1/4" Swagelock connection)
(2) Systems / Handlers
Peripherals: Floppy drive (1.44 MB), 3.5”
Operating system: Windows NT
Options:
SE
DBS
SECSII
Power & facilities:
Power supply: 110 V, 1 Phase, 3 wire, 50/60 Hz
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1250SE ist eine Ausrüstung zur Prüfung und Messtechnik von Wafern in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Analyseaufgaben, wie Retikelinspektionen, hochauflösende Fehlererkennung auf Wafern, optische kritische Dimension (OCD) Messtechnik und Overlay-Messungen. Das System wird von einer schnell abtastenden Laserprojektionseinheit angetrieben, die hochauflösende Messfähigkeiten über ein großes Sichtfeld bietet. Die Laserprojektionsmaschine erzeugt ein dreidimensionales Profil des Wafers, das mittels einer Kombination aus automatisierter Bildverarbeitung und statistischer Analyse überprüft wird. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von Defekten am Wafer zu erkennen und zu messen, einschließlich mechanischer Defekte wie Kratzer und elektrische Defekte wie Hinterschneiden und Überbrücken. KLA UV-1250SE verfügt über fortschrittliche Technologie zur Messung von OCDs. Es verwendet eine integrierte 3-Achsen-Stufe, die den Wafer sowohl in x- als auch in y-Richtung bewegen kann, unter Beibehaltung einer hohen Fokusgenauigkeit. Das Asset kann die x- und y-Dimensionen des Wafers bei einer Auflösung von bis zu 0,5 Mikrometern messen. Darüber hinaus bietet das Modell leistungsstarke Overlay-Messfunktionen, die die Ausrichtgenauigkeit verschiedener Schichten auf einem Wafer messen und die Genauigkeit des Montageprozesses gewährleisten können. TENCOR UV 1250 SE verfügt auch über eine benutzerfreundliche Schnittstelle zum Sammeln von Daten und Steuern der Geräte. Das System kann mit benutzerdefinierten Einstellungen und Rezepten programmiert werden, und die Steueroberfläche bietet Echtzeit-Visualisierung des Fortschritts des Geräts, so dass Bediener rechtzeitig Anpassungen bei Bedarf vornehmen können. Darüber hinaus ist die Maschine einfach einzurichten und zu kalibrieren, sodass Benutzer schnell von Wafer zu Wafer wechseln können, ohne das Werkzeug jedes Mal neu konfigurieren zu müssen. Insgesamt ist PROMETRIX UV 1250 SE eine hervorragende Bereicherung für die Prüfung und Messtechnik von Wafern in der Halbleiterindustrie. Es verfügt über hohe Genauigkeit und Auflösung, schnelle Verarbeitungsgeschwindigkeit und eine benutzerfreundliche Schnittstelle, so dass es eine ideale Wahl für die Zuverlässigkeit und Genauigkeit von Halbleiterprodukten ist.
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