Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9000 #293607038 zu verkaufen

ID: 293607038
Weinlese: 2005
Darkfield inspection system 2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die von der KLA entwickelt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um eine umfassende Palette von Halbleiter-Engineering-Lösungen durch die Implementierung von fortschrittlichen Niveaumess- und Analysetechnologien zur Verfügung zu stellen. Das Gerät ist in der Lage, Echtzeit-Analyse und -Inspektion sowie Prozesskontrolle bereitzustellen, um die besten Wafererträge und optimale Fertigungsbedingungen zu gewährleisten. Die Maschine verfügt über hochauflösende Bildgebung für die Waferinspektion und Messtechnik sowie eine fortschrittliche Mustererkennungssoftware zur Fehlererkennung. Dies ermöglicht die volle Kontrolle des Prozesses, von der ersten Stanzstreifenausrichtung bis zur optischen Leistungsbewertung des Endprodukts. Es bietet auch ein effizientes Mittel zur Erzeugung von Daten für Ertragsverbesserungszwecke. KLA Puma 9000 bietet eine Kombination aus erstklassiger Geschwindigkeit und Genauigkeit mit optimierter Betriebszeit und Durchsatz. Dieses Tool ist in der Lage, bis zu 25 Wafer pro Stunde mit einer Auflösung von bis zu 1 Mikron zu überprüfen. Es ist mit einer Hochdurchsatz-berührungslosen Stufe ausgestattet, die eine automatisierte Messung und Analyse mehrerer Stellen über den Wafer in einem einzigen Scan ermöglicht. Die Imaging-Funktionen des Asset können Wafer-Funktionen bis zu 0,3 Mikrometer über erfassen. TENCOR Puma 9000 ist in Host-Prozessleitsysteme integriert und ermöglicht die Datenerfassung und -analyse auf Modul-, Werkzeug- und Modellebene. Dies ermöglicht die Prozessoptimierung im Handumdrehen, sodass Lieferanten den Durchsatz erhöhen und schnell auf Änderungen reagieren können. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Reihe von Rezepten kompatibel und gewährleistet die Übertragung von passenden Fehlererkennungs- und Prozesssteuerungsalgorithmen. Insgesamt ist Puma 9000 eine leistungsstarke, integrierte Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung. Es ermöglicht die automatisierte Inspektion und Messtechnik von Wafern in Kombination mit rezeptbasierter Prozesssteuerung. Dieses System bietet eine verbesserte Kontrolle von Prozessen und Erträgen und ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Messtechnik und Fehlererkennung, was zu einer höheren Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Ergebnisse führt.
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