Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9000 #9232234 zu verkaufen

ID: 9232234
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Darkfield inspection system, 12".
KLA/TENCOR Puma 9000 ist eine Wafertest- und Messtechnikplattform, die entwickelt wurde, um Waferparameter wie Halbleiterbauelementstruktur, Gleichmäßigkeit und Topographie schnell, genau und zuverlässig zu messen. Das Gerät nutzt fortgeschrittene Scanelektronenmikroskop (SEM) -Bildgebung, automatisierte optische Inspektion (AOI) und Laser-Interferometrie (LI) -Werkzeuge, um umfassende Datensätze zu erstellen, die die Leistung einzelner Geräte auf dem Wafer detaillieren. Es ist ideal für die Messung mehrerer Merkmale gleichzeitig und hat das Potenzial, die Zeit zu reduzieren, um Wafer zu analysieren, ohne die Genauigkeit oder Zuverlässigkeit zu beeinträchtigen. KLA Puma 9000 wurde entwickelt, um sich an eine Vielzahl von Bedingungen anzupassen, so dass es ideal für Umgebungen mit hohen oder niedrigen Temperaturen ist, oder wo Staub und Schmutz vorhanden sind. Es ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll zu analysieren und verfügt über einen hervorragenden Dynamikbereich für hohe Detailbilder und Funktionsanalysen. Die Plattform kombiniert eine Vielzahl von Sensoren und integrierter Elektronik, um strukturelle Eigenschaften wie Kehltiefe, Steigung, Linienbreite, Linienwinkel, Defektart und mehr zu erfassen. Das System verwendet fortschrittliche Algorithmen, um Funktionen genau zu klassifizieren und Daten zu extrahieren, einschließlich Gesamtfehlerfläche, Fehlerdichte, durchschnittliche Breite, Tonhöhe und viele andere Parameter, um eine schnelle und zuverlässige integrierte Datenlösung zu bieten. Darüber hinaus ist das Gerät mit überlegenen Automatisierungsfunktionen ausgestattet. Es verwendet eine eingebettete Partikelinspektionsmaschine und einen Flachbildschirmdetektor, um Wafer vollautomatisch zu scannen und kann konfiguriert werden, um entweder spezifische Strukturen einzeln zu überprüfen oder ein großes Ensemble von Datenerfassungs- und Analysepunkten für große Analysebedürfnisse zu koordinieren. TENCOR Puma 9000 beinhaltet softwaregesteuerte mechanische Stufen zur Probenpositionierung und ist mit einer Option zur hochpräzisen Ausrichtung für ausgezeichnete Genauigkeit erhältlich. Schließlich umfasst es eine automatisierte Abschirmung, um eine zuverlässige Datenerfassung zu gewährleisten, und kann mit einer integrierten Ionenstrahlquelle oder Glasfaseranschlüssen für die Integration in bestehende Plattformen ausgestattet werden. Puma 9000 ist die perfekte Lösung für Wafer-Tests und messtechnische Aufgaben. Die Plattform kombiniert Rasterelektronenmikroskope, automatisierte optische Inspektion und Laserinterferometrie-Technologien in einem Paket, um beispiellose Datengenauigkeit, Zuverlässigkeit und Geschwindigkeit zu bieten. Seine Automatisierungsfunktionen und softwaregesteuerten mechanischen Stufen ermöglichen präzise und wiederholbare Messungen mehrerer Merkmale ohne Eingriff des Bedieners. Das Werkzeug ist für raue Umgebungsbedingungen ausgelegt und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll scannen. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR Puma 9000 die führende Lösung für Wafertests und Messtechnik.
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