Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9000D #9184157 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9184157
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Inspection system, 12"
Tool with (2) modules
Light source:UV laser
Laser wavelength:365nm
(2) Dark field Sensor
Select Mode:sL10,sL15,sL20,sL40,sL60,sL70
Currently stored in cleanroom
2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9000D ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die unübertroffene Genauigkeit und Durchsatz-Fähigkeiten bietet, um höchste Qualität Ertrag und Erträge zu gewährleisten. Dieses System kombiniert fortschrittliche Waferinspektion mit automatisierter Messtechnik, um etwaige am Wafer vorhandene Fehler zu identifizieren und zu messen. KLA Puma 9000D liefert unübertroffene Genauigkeit und Geschwindigkeit, um extrem kleine Defekte an heutigen High-Density-Wafern zu erkennen und zu messen. Die automatisierte Metrologie-Einheit von TENCOR PUMA 9000 D misst Funktionen über einen weiten Waferbereich von 1µm bis 5µm bei Geschwindigkeiten bis 2µm/Sekunde genau und schnell. Es misst auch eine Vielzahl von Merkmalen auf der Waferoberfläche, einschließlich CDs, lineare Steigung und Linienbreiten, Stufen und Vorsprunghöhen. In Bezug auf die Bildgebung bietet PUMA 9000 D hochauflösende bildgebende Funktionen mit einem großen Sichtfeld, um Einblicke in jede Fehlerstatur zu ermöglichen und die Messgenauigkeit zu überprüfen. Es verfügt über eine optionale Mehrfachsichtmodus-Funktion, die 480 Bilder pro Sekunde für ein großes Sichtfeld bietet. Seine fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen erkennen und messen Waferdefekte, einschließlich Kratzern, Partikeln und Versetzungen in beispiellosen Details. Die hochpräzise lineare Stufe der Maschine bietet zudem eine Referenzgenauigkeit. Die hochpräzise Antriebstechnologie bietet Präzision auf Mikroniveau und ermöglicht extrem genaue Messungen. Und mit seinem Air Scanning Modul bietet KLA PUMA 9000 D ein umfassendes Spektrum an Inspektionsmöglichkeiten für die kleinsten Geräte von heute. Darüber hinaus ermöglichen die offene Architektur und der modulare Aufbau eine einfache und kostengünstige Anpassung und Aktualisierung des Tools. Eingebaute Autofokus-Funktionen und automatisiertes Wafer-Laden und -Tracking minimieren die Anforderungen an die Bedienkompetenz und ermöglichen eine schnelle Integration in eine Produktionslinie. Um höchste Qualität zu gewährleisten, bietet Puma 9000D umfassende und intuitive Funktionen zur Bedienung und Berichterstattung. Dazu gehört ein automatisiertes Fehlerberichtsmodell, das einen Bericht über jeden Fehler und seine Position innerhalb des Wafermusters erstellt. Es bietet auch Global Defect Control Optionen für eine integrierte und vereinfachte Prozesssteuerung. TENCOR Puma 9000D liefert beispiellose Genauigkeit und Geschwindigkeit, die für die Erfüllung der heutigen Produktionsanforderungen unerlässlich sind. KLA/TENCOR PUMA 9000 D bietet mit seiner modernsten Wafer-Prüf- und Messtechnik eine effiziente Lösung zur Sicherstellung von hochwertigen Wafern mit hoher Ausbeute.
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