Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9120-IS #9016502 zu verkaufen

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ID: 9016502
Patterned wafer inspection system, 2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120-IS ist eine vollautomatische Wafer-Messtechnik und Prüftechnik, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es ist in der Lage, elektrische und physikalische Eigenschaften von integrierten Schaltungen (ICs) zu messen und zu analysieren, einschließlich winziger Merkmale mit einer Größe von bis zu 0,1 Mikron. KLA Puma 9120-IS ist mit einem leistungsstarken optischen Mikroskopiesystem ausgestattet, das eine CCD-Kamera und Vergrößerungsobjektive verwendet, um detaillierte Eigenschaften von Gerätestrukturen und anderen Funktionen auf Wafern zu messen. Es ist in der Lage, Bilder mit einer Auflösung von 5x5 Mikrometern zu erfassen und Funktionen zu erfassen, die kleiner als die 3D-Tiefe von 30 Nanometern sind. Das Gerät hat auch die Fähigkeit, lineare und Winkelmuster von Geräten bis zu mindestens 30 Mikrometer zu messen, was eine Präzision auf mikroskopischer Ebene ermöglicht. Um die Leistung eines Geräts zu charakterisieren, zu analysieren und zu beheben, verwendet die Maschine eine Reihe verschiedener Technologien, einschließlich Wafer-Wafer-aktiver Ausrichtungsmessung, Koordinatenmessmaschine (CMM) und variabler Winkel-spektroskopischer Ellipsometrie (VASE). Durch die Bereitstellung dieser drei Werkzeuge für erweiterte analytische Messungen ist TENCOR Puma 9120-IS eine außergewöhnliche Plattform für die elektrische und physikalische Charakterisierung von ICs. In Bezug auf die Testfunktionalität hat Puma 9120-IS die Fähigkeit, eine Vielzahl von Tests wie Oberflächenmessungen, Sondierung, elektrische Protokollprüfung, undichte Substratprüfung und Düsenziehprüfung durchzuführen. Es ist auch in der Lage, Verbesserungstests auf Waferebene für eine breite Palette von Geräten wie DRAMs, Flash-Geräte, EPROMs, OTPs und LCDs. Darüber hinaus unterstützt der Puma das automatisierte Wafer-Handling für Wafer bis 200 mm Durchmesser. Es bietet auch ein integriertes Fehlerüberprüfungstool mit automatischer Überprüfung durch Algorithmen und benutzerdefinierte Kriterien, die eine schnellere Problemlösung ermöglichen. KLA/TENCOR Puma 9120-IS ist ein leistungsstarkes Instrument, das Genauigkeit und Präzision von Messungen bietet, was es zu einer idealen Wahl für die Charakterisierung, Prüfung und Fehlerbehebung von integrierten Schaltungen macht. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von integrierten Schaltungen zu handhaben und seine Unterstützung für Auto-Fokus und Auto-Messung Technologien helfen, korrekte Ergebnisse zu gewährleisten und Zeit zu sparen.
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