Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9130 #9398548 zu verkaufen
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ID: 9398548
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Darkfield inspection system, 12"
2005 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9130 ist eine Präzisionsmesstechnik und Wafer-Prüfanlage, die für Wafertests und Messtechnik auf Produktionsebene entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, Wafer mit einer typischen Genauigkeit von 1,2 nm hochgenau zu messen und zu testen. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Konfigurationen von Wafern zu messen und kann bis zu sechs Zoll im Durchmesser scannen. KLA Puma 9130 ist eine vollautomatische Maschine, die es Anwendern ermöglicht, Halbleiterscheiben und -chips schnell und genau zu analysieren, zu überprüfen, zu diagnostizieren und zu reparieren. TENCOR Puma 9130 verfügt über eine proprietäre Softwareplattform, mit der Benutzer alle Aspekte der Arbeitsabläufe des Tools konfigurieren und steuern können. Das Gerät wird von einer 12-Kanal-optischen Mikroskopkamera und einem Drei-Achsen-Bewegungsmodell angetrieben, das eine hochauflösende Bildgebung bietet und präzise Messungen und Analyse von Waferfunktionen ermöglicht. Puma 9130 verfügt über ein hochauflösendes Bildverarbeitungsgerät, um Daten aus Bildern zu erhalten. Dieses System kann verwendet werden, um Wafer-KEs wie kritische Bemaßung, Linienbreite, Kantenplatzierung und Formaktivität zu erkennen, zu messen und zu analysieren. Die Einheit bietet auch Wafer-Mapping, um präzise Messungen von Halbleiterchips zu ermöglichen. Die Maschine ist zudem mit einem automatisierten Fehlererkennungswerkzeug auf Produktionsebene ausgestattet. Dieses Asset verwendet eine Folge von Bildverarbeitungsoperationen, um Defekte wie gestrichelte Linien, offene Vias, fehlende Bumps und verschiedene andere Fehler zu erkennen. Darüber hinaus umfasst KLA/TENCOR Puma 9130 eine Reihe von Bildanalyse-Tools, die eine genaue Analyse von Daten aus Bildern ermöglicht. Dazu gehören die Erkennung von hochauflösenden Halbleitermerkmalen, die Fehleranalyse auf Waferebene, Musterkonturen und Oberflächenprofile sowie messtechnische Karten auf hohem Niveau. Dadurch erhalten Anwender präzise Messungen kritischer Abmessungen und Formen von Wafer-KEs. Insgesamt ist KLA Puma 9130 ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Modell auf Produktionsebene, das eine präzise Analyse und Inspektion von Halbleiterscheiben ermöglicht. Das Gerät verfügt über hochauflösende Bildverarbeitung, Fehlererkennung, Bildanalyse und messtechnische Kartierung, so dass Benutzer hochgenaue Daten von Wafern erhalten können. Damit ist das System eine ideale Wahl für Wafertests und Messtechnik auf Produktionsebene.
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