Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9150 IS #9177224 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9177224
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Operating system: Windows 2000 based
Modular inspection station
Modular handler (200/300mm dual open / Dual 300mm FIMS)
Flexible image computer
Optics modes
(5) Inspection pixel modes (sL20, sL40, sL60 included in every system)
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Data transfer (CD RW, Ethernet)
Wafer pre-aligner
Network communication
Stand alone user interface
(5) Review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Advanced detection algorithms
Defect clustering
High mag review optics:
Bright and darkfield review modes
Autofocus capability
Review sampling
Earthquake restraint
Dual fims, phoenix v1.3
(25) Cassettes HW, 300 mm SW
Includes:
(1) DSW 16.3 type 2 wafer
(1) Shiny wafer
(1) Haze wafer
FFU Analog
Enhanced throughput: sL10, 15
GEM/SECS and HSMS
OHT Enabled
With cbl, G4
Signal tower: PHX (RYGB)
Option: NFS SW
Power cable: 15 m
Remote ext blower cabling, 15 m
Array mode
Currently installed
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 IS ist eine branchenführende Wafer-Prüf- und Messtechnik. Die fortschrittliche Technologie kombiniert präzise optische, Bilderkennungs- und Messtechnikfunktionen und ermöglicht eine schnellere und genauere Waferinspektion und -analyse. KLA Puma 9150 IS wurde speziell entwickelt, um den Anforderungen der hochvolumigen Halbleiterherstellung gerecht zu werden. TENCOR Puma 9150 IS verfügt über neun hochauflösende, automatisierte RGB-Kameras, die die Waferinspektion auf mehreren Ebenen mit einem Blickfeld-Multiplexing-Option ermöglichen. Dadurch kann der Anwender Wafer schnell auf verschiedene Arten von Defekten scannen, darunter Oberflächenunregelmäßigkeiten, Partikelverunreinigungen und prozessbedingte Verunreinigungen wie Lithographiefehler. Die optischen Systeme liefern präzise Messungen bis in den Nanometermaßstab. Der automatisierte Wafer-Inspektionsprozess ermöglicht eine genaue und effiziente Wafer-Oberflächenanalyse. Die Computer-Vision-Technologie des Systems ermöglicht es dem Benutzer, erkannte Fehler genau zu identifizieren und zu klassifizieren. Darüber hinaus ist Puma 9150 IS in der Lage, Echtzeit-Messtechnik-Daten bereitzustellen, um die Entscheidungsfindung während der Wafer-Testphasen zu unterstützen. KLA/TENCOR Puma 9150 IS ist auch mit leistungsfähiger, einfach zu bedienender Software ausgestattet, die die Bildaufnahme und -analyse vereinfacht. Diese Software verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche und bietet erweiterte Videobildverarbeitungsfunktionen. Darüber hinaus ermöglicht die Modularität kundenspezifische Konfigurationen für verschiedene Wafer-Test- und Messtechnik-Anwendungen. KLA Puma 9150 IS ermöglicht einen schnellen Durchsatz durch automatisches Lernen aus den gesammelten Daten. Es wurde entwickelt, um eingehendes Material schnell und genau zu überprüfen und gleichzeitig Feedback zu geben, das den Prozess für zukünftige Laufzeiten optimiert. Darüber hinaus zeichnet sich die integrierte Messtechnik durch ihre hohe Präzision aus. Durch die Verwendung von einzigartigen Kalibrierungen liefert es Ergebnisse, die wiederholbar und genau auf die Nanometerskala sind. Insgesamt ist TENCOR Puma 9150 IS eine fortschrittliche Wafertest- und Metrologiemaschine, die die neuesten optischen und Bilderkennungstechnologien kombiniert. Dieses robuste Werkzeug liefert zuverlässige Waferinspektions- und messtechnische Ergebnisse mit außergewöhnlicher Präzision und Wiederholbarkeit. Seine Modularität und leistungsstarke Software machen es hochkonfigurierbar und machen es zu einer großartigen Lösung für alle branchenüblichen Anforderungen an Wafertests und Messtechnik.
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