Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9150 #293606942 zu verkaufen

KLA / TENCOR Puma 9150
ID: 293606942
Inspection system.
KLA/TENCOR Puma 9150 Wafer Testing and Metrology Equipment ist eine Metrologie-Plattform, die eine umfassende, genaue und zuverlässige Halbleiter-Prozesssteuerung und Fehleranalyse bietet. Die Plattform KLA Puma 9150 nutzt eine Reihe fortschrittlicher Messtechnologien, einschließlich Streuung, AFM und anderen optischen Methoden und bietet leistungsstarke, integrierte Fähigkeiten zur Prozesskontrolle und Fehleranalyse. TENCOR Puma 9150 System ermöglicht Prozesssteuerung durch genaue Messung der kritischen Abmessungen haben ein Gerät während der Herstellung. Dies ist eine Funktion, die sicherstellt, dass jeder der aufeinanderfolgenden Schritte im Prozess korrekt ausgeführt wird. Mit Puma 9150 können Ingenieure und Wissenschaftler die komplexe Oberfläche und die Morphologie und die lokale Schichtdicke jedes einzelnen Geräts, das sie in einem Produktionsprozess herstellen, überwachen. KLA/TENCOR Puma 9150-Einheit ist speziell entwickelt, um die strengen Anforderungen der Prozess- und Fehleranalyse zu erfüllen. Die Maschine verfügt über sechs verstellbare Achsen und zwei senkrechte Bewegungsachsen und ist mit fortschrittlichen Sensoren wie einem Multi-Spot-Streugerät, das mehrere Punkte auf dem Wafer gleichzeitig messen kann, einem Scan-by-Spot-Streuungsmesser mit 200nm Auflösung, einem Rasterelektronenmikroskop mit einer Auflösung von 5nm und einem automatisierten fokussierten Ionenstrahl (FIB B b) belastet. Alle diese Sensoren bieten die Möglichkeit, hochauflösende optische und elektrische Messungen durchzuführen. Das KLA Puma 9150 Tool ist mit einer leistungsstarken Software für die Prozesskontrolle und Fehleranalyse integriert, die höchsten Qualitätsstandards entspricht. Die Software ist in der Lage, eine Reihe von Verarbeitungsaufgaben durchzuführen, von einfacher Überwachung und Datenvisualisierung bis hin zu komplexer Bildverarbeitung, Funktionsextraktion und statistischer Analyse. TENCOR Puma 9150 Asset liefert schnelle und genaue messtechnische Ergebnisse, die für eine vertrauenswürdige statistische Prozesskontrolle geeignet sind. Das integrierte Modell bietet eine leistungsstarke Plattform zur Vorhersage der Parameter Wafer-Ertrag und Qualität. Mit seinem vielfältigen Spektrum an Sensoren erkennt und behebt Puma 9150-Geräte während des Herstellungsprozesses alle Fehler genau und stellt sicher, dass die Geräteleistung und die Ausbeute während des gesamten Produktionsprozesses optimiert werden. Insgesamt ist KLA/TENCOR Puma 9150 Wafer Testing and Metrology System eine effektive Plattform, die eine umfassende und genaue Prozesskontrolle und Fehleranalyse bietet. Die fortschrittliche Messtechnik und die leistungsstarke Software-Suite bieten eine zuverlässige und vertrauenswürdige Lösung zur Überwachung und Optimierung der Waferfertigung.
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