Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9150 #9217535 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9217535
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Darkfield inspection system, 12"
YASUKAWA Transfer robot
ASYST Foup
2006 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für die On-Wafer-Inspektion, Messtechnik und Bildanalyse verwendet wird. Es verfügt über einen automatisierten Roboterarm, eine präzise Bewegungssteuerung sowie leistungsstarke Bildgebungs- und Verarbeitungsfunktionen, um Bilder schnell und genau zu erfassen und Daten zu analysieren. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Wafer-Handhabungsstufe und dem Abbildungs- und Verarbeitungsmodul. Die Wafer-Handhabungsstufe ist ein automatisierter Roboterarm, der exakt einen Probenwafer für den Bildgebungs- und Analyseprozess positioniert, so dass das Gerät für Proben verschiedener Größen verwendet werden kann. Das Stadium passt auch die Orientierung und Höhe der Probe an, um die Genauigkeit in der Analyse sowie die Bildgebung und Datenerfassung sicherzustellen. Das Abbildungs- und Verarbeitungsmodul besteht aus einer bildgebenden Maschine, Steuerschnittstellen und mehreren Verarbeitungsmodulen. Das bildgebende Werkzeug besteht aus zwei CCD-Kameras und kann Bilder mit einer Auflösung von bis zu 10 Mikrometern aufnehmen. Darüber hinaus ist das Asset mit Multifokaloptiken ausgestattet, die es ermöglichen, nützliche Informationen über die Wafer zu sammeln. Inzwischen bieten die Steuerungsschnittstellen, wie die KLA GUIMind Software, ein intuitives und umfassendes Benutzererlebnis und ermöglichen eine umfassende Kontrolle des Modells mit integriertem Datenmanagement und fortschrittlicher Analyse. Schließlich umfasst die Anlage mehrere Bearbeitungsmodule, wie das Defektklassifizierungsmodul, für eine umfassende Inspektion und Messtechnik. Dadurch wird sichergestellt, dass die vom System gesammelten Daten genau sind und weiter analysiert und verwendet werden können, um mögliche Probleme mit dem Wafer zu ermitteln, bevor er in eine Einheit integriert wird. Die Maschine KLA Puma 9150 ist ein wichtiges Werkzeug für die Waferinspektion und Messtechnik und liefert präzise, genaue und informative Daten, um eine umfassende Analyse zu ermöglichen. Sein automatisierter Roboterarm und seine leistungsstarke Bildgebung und Verarbeitung machen ihn zu einer ausgezeichneten Wahl für Waferinspektionen und messtechnische Anwendungen.
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