Gebraucht KLA / TENCOR Puma 9550i #9258170 zu verkaufen

KLA/TENCOR Puma 9550i ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für die Messung von Geräteeigenschaften und kritischen Abmessungen mit hoher Genauigkeit ausgelegt ist. Es ist die Messtechnik-Plattform der neuesten Generation der KLA Puma-Systemfamilie. Der 9550i verfügt über modernste Technologien und Innovationen, um eine unübertroffene Genauigkeit und Produktivität zu gewährleisten. Im Zentrum des Geräts steht sein hochintegriertes optisches Design: ein einzigartiger optischer Kopf mit einem Beugungsmikroskop (iSCOPE) für die Rasterbestrahlung und einem Dual-Deflektor-Design auf Basis zweier Interfereskop-Objektive, die beide in einer mehrachsigen Biegestufe angeordnet sind. Der iSCOPE ermöglicht die gleichzeitige Abbildung mehrerer Kriterien über die gesamte Oberfläche des Geräts und ist in der Lage, die Analyse kritischer Merkmalsgrößen, kritischer Höhe/Winkel und Überlagerungsmessungen sowohl der Ober- als auch der Unterseite des Geräts durchzuführen. Die Dual-Deflektor-Konstruktion ermöglicht sowohl hohe Genauigkeitsmessungen der kritischen Abmessungen als auch präzise kritische Höhen-/Winkelmessungen beider Oberflächen mit Subnanometer-Präzisionsbewegungen. Neben seinem überlegenen optischen Design bietet der 9550i auch Hochgeschwindigkeitsmessungen mit 30 ms Einzelklick-Messzeit, Funktionsidentifikation in weniger als 2 Sekunden und Wafer-Mapping mit voller Abdeckung in weniger als 12 Minuten. Die Maschine verfügt zudem über eine überlegene Wiederholbarkeit mit einer 5-Sigma-Präzision von 0,96 nm Critical Dimensions und 0,76 nm Overlay-Fehler. Um die Anwender in ihrem Prozess weiter zu erleichtern, bietet die 9550i zudem eine vorausschauende Benutzeroberfläche mit intuitiver menügesteuerter Oberfläche, die die Trainingszeit des Anwenders reduziert und „Schritt für Schritt“ Beispiele für automatisierte Messungen und Analysen liefert. Die proprietäre TENCOR-Mustererkennungssoftware, die Automated Feature Recognition (AFR), gewährleistet einen hohen Durchsatz und eine genaue Abstandsanalyse von nur wenigen gescannten Bildern. KLA Puma 9550i ist ein bahnbrechendes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Tool, das speziell für Präzisionsmessungen entwickelt wurde und Funktionen bietet, die auf keinen anderen konkurrierenden Plattformen zu finden sind. Sein innovatives optisches Design bietet unübertroffene Genauigkeit, Leistung und Produktivität, während seine Benutzeroberfläche, Softwareoptionen und überlegene Funktionen-Erkennungsfunktionen Anwendern helfen, kritische Funktionen schnell zu identifizieren und zu analysieren, so dass sie ihre Projekte schneller und effizienter erledigen können. Mit seiner überlegenen Leistung und benutzerfreundlichen Eigenschaften ist der 9550i die ideale Wahl für fortschrittliche Präzisionsmessungen.